Keramična elektrostatična vpenjalna glava

Proizvodni procesi polprevodnikov, zlasti obdelava rezin, se izvajajo v vakuumskem okolju, mehansko vpenjanje rezin pa nosi 

določena tveganja. Ko je sila koncentrirana na vpenjalno točko, lahko krhke silicijeve rezine odvržejo drobne delce, kar povzroči resno škodo proizvodnji rezin.

V tem primeru postane boljša izbira keramična elektrostatična vpenjalna glava, ki fiksira rezino z elektrostatično silo. Elektrostatična sila enakomerno deluje na rezino, tako da je rezino mogoče pritrditi ravno, kar izboljša natančnost postopka.

V skladu z ustreznimi raziskovalnimi članki imajo keramične elektrostatične vpenjalne glave močnejše sesanje kot druge elektrostatične vpenjalne glave. Na primer, keramična elektrostatična vpenjalna glava ima veliko močnejše sesanje kot elektrostatična vpenjalna glava iz PET folije.

Keramična vpenjalna glava je običajno izdelana iz visoko zmogljivih keramičnih materialov, kot so Al2O3, AlN ali SiC, ki ima visoko toplotno odpornost, izolacijo in odpornost proti koroziji. Porozna keramična vpenjalna glava SiC ni le stabilna pri ekstremnih temperaturah, ampak tudi učinkovito preprečuje degradacijo keramične E-vpenjalne glave zaradi kemičnih reagentov in plazemskega jedkanja med proizvodnim procesom.

Nadzor temperature: Visoka toplotna prevodnost in stabilne toplotne lastnosti keramičnih materialov omogočajo Alumina Ceramic Vacuum Chuck učinkovit nadzor nad temperaturo in tako optimizirajo porazdelitev temperature med postopkom.

Prilagodljivost vakuuma: Keramična elektrostatična vpenjalna glava je primerna za vakuumska okolja, zlasti pri nizkotlačnih in visoko preciznih postopkih jedkanja.

Nizko nastajanje delcev: E-vpenjalna glava iz porozne SiC keramike ima gladko površino, ki lahko zmanjša kontaminacijo z delci med fiksiranjem rezin in pomaga izboljšati izkoristek izdelka.

Uporaba: Večinoma se uporablja v proizvodnji polprevodnikov, snemljiva keramična elektrostatična vpenjalna glava, ki zagotavlja natančno pozicioniranje in stabilnost, kar je zelo koristno pri litografiji, jedkanju in drugih proizvodnih procesih obdelave polprevodniških rezin. Zagotovite, da je rezina med obdelavo nedotaknjena in izboljšajte kakovost proizvodnje čipov.

VeTek SemiconductorProizvodnje keramičnih e-vpenjal: