CVD SiC prevleka iz grafita

VeTek Semiconductor CVD SiC prevleka grafitnega suceptorja je ena od pomembnih komponent v industriji polprevodnikov, kot sta epitaksialna rast in obdelava rezin. Uporablja se v MOCVD in drugi opremi za podporo obdelave in ravnanja z rezinami in drugimi visoko natančnimi materiali. VeTek Semiconductor ima vodilne kitajske zmogljivosti za proizvodnjo in proizvodnjo grafitnih susceptorjev s prevleko iz SiC in TaC prevlečenih grafitnih susceptorjev ter se veseli vašega posveta.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Grafitni suceptor s prevleko CVD SiC je posebej zasnovan za visoko natančno proizvodnjo v industriji polprevodnikov. Grafitni substrat je s postopkom CVD prevlečen s plastjo SiC visoke čistosti, ki ima odlično odpornost na visoke temperature, odpornost proti koroziji in oksidacijo ter lahko dolgo časa stabilno deluje v okoljih z visoko temperaturo in v vakuumu. Ta podstavek se pogosto uporablja v MOCVD, PECVD, PVD in drugi opremi za podporo obdelave in ravnanja z rezinami in drugimi visoko natančnimi materiali.

Glavne prednosti:

● Visoka temperaturna stabilnost: sam grafit visoke čistosti ima odlično toplotno stabilnost. Po prevleki s SiC prevleko lahko prenese ekstremna okolja z višjo temperaturo in je primeren za visokotemperaturne procese pri obdelavi polprevodnikov.
● Corrosionska odpornost: CVD SiC prevleka je odporna na kislinsko in alkalno korozijo in ima lahko dolgo življenjsko dobo v procesu CVD.
● Visoka hodpornost proti trdoti in oksidaciji: CVD SiC prevleka ima odlično trdoto, odpornost proti praskam in odpornost proti oksidaciji pri visokih temperaturah za ohranjanje stabilnosti materiala.
● Dobra toplotna prevodnost: Kombinacija grafitnega substrata in CVD SiC prevleke omogoča, da ima osnova odlično toplotno prevodnost, ki lahko učinkovito prevaja toploto in izboljša učinkovitost proizvodnje.

Specifikacije izdelka:

● Material: grafitna podlaga + CVD SiC prevleka
● Debelina nanosa: lahko se prilagodi glede na potrebe kupca
● Uporabno okolje: visoka temperatura, vakuum, jedko plinsko okolje

Storitev po meri:

Zagotavljamo visoko prilagojene storitve, ki ustrezajo potrebam različnih naprav in procesov strank. Glede na specifično aplikacijo kupca se lahko zagotovijo grafitne podlage z različnimi debelinami nanosa, površinsko obdelavo in stopnjami natančnosti.

VeTekSemi že od nekdaj deluje v industriji premazov iz silicijevega karbida CVD in ima v panogi vodilno grafitno bazo prevleke CVD SiC in raven proizvodnje. Če potrebujete več informacij o izdelku ali prilagojene storitve, se obrnite na VeTek Semiconductor, z vsem srcem vam bomo zagotovili strokovno podporo.