Grafitni rotacijski sprejemnik

Rotacijski suceptor iz grafita visoke čistosti ima pomembno vlogo pri epitaksialni rasti galijevega nitrida (proces MOCVD). VeTek Semiconductor je vodilni proizvajalec in dobavitelj grafitnih rotacijskih suceptorjev na Kitajskem. Razvili smo številne grafitne izdelke visoke čistosti na osnovi grafitnih materialov visoke čistosti, ki v celoti izpolnjujejo zahteve industrije polprevodnikov. VeTek Semiconductor se veseli, da bo postal vaš partner pri rotirajočem grafitnem suceptorju.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Schematic diagram of the working process of High purity graphite rotating susceptor

Grafitni rotacijski susceptorji visoke čistosti se uporabljajo v opremi za obdelavo materialov v okoljih visoke temperature in visokega vakuuma. Pri epitaksialni rasti galijevega nitrida (postopek MOCVD) igrajo podporno vlogo pri rotaciji substrata. VeTekSemijev rotacijski grafitni suceptor ima naslednje prednosti:

● Visoka čistost: Vsebnost nečistoč v grafitnih rotacijskih suceptorjih visoke čistosti je pod 5 ppm. Ta stopnja čistosti grafita se lahko izogne sproščanju nečistoč pri visokih temperaturah, da se zagotovi čistost postopka nanašanja. Zato za izpolnjevanje delovnih zahtev ni potreben premaz.

Grafit visoke čistosti

● Odlične toplotne lastnosti: Grafit visoke čistosti ima odlično toplotno prevodnost, njegova toplotna prevodnost pa je veliko višja od drugih materialov. Koeficient toplotnega raztezanja je majhen in lahko ohrani stabilno delovanje pri temperaturnih spremembah.

● Dobre mehanske lastnosti: Grafit visoke čistosti ima dobro odpornost proti obrabi in žilavost, ki lahko izpolnjuje kompleksne zahteve postopka CVD.

● Odlična prevodnost: prevodnost je stokrat višja od prevodnosti običajnih nekovinskih mineralov.

● Kemijska stabilnost: Odporen je proti koroziji zaradi kislin, alkalij in organskih topil

Poleg tega VeTek Semiconductor kot vodilni proizvajalec in dobavitelj grafitnega rotacijskega suceptorja visoke čistosti na Kitajskem dobavlja tudi visoko kakovostneSiC prevlečen grafitni susceptor za MOCVD, SiC prevlečen sod susceptor, TaC prevlečeni grafitni sprejemnikinMOCVD SiC prevleka.VeTek Semiconductorje zavezan zagotavljanju napredne tehnologije in proizvodnih rešitev za polprevodniško industrijo ter podpira tudi prilagojene storitve. Iskreno se veselimo, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.

VeTek SemiconductorTrgovine z izdelki Graphite Rotating Susceptor:

Graphite Susceptor Vetek Semiconductor Graphite Rotating Susceptor test Semiconductor ceramics technology