Grafitni obroč visoke čistosti je primeren za postopke epitaksialne rasti GaN. Zaradi njihove odlične stabilnosti in vrhunske zmogljivosti se pogosto uporabljajo. VeTek Semiconductor proizvaja in izdeluje vodilni grafitni obroč visoke čistosti na svetu, da pomaga industriji epitaksije GaN še naprej napredovati. VeTekSemi se veseli, da bo postal vaš partner na Kitajskem.
PostopekGaN epitaksialnorast poteka v visokotemperaturnem, jedkem okolju. Vroče območje GaN epitaksialne rastne peči je običajno opremljeno s toplotno in korozijsko odpornimi grafitnimi deli visoke čistosti, kot so grelniki, lončki, grafitne elektrode, držala lončkov, elektrodne matice itd. Grafitno tesnilo je eden izmed pomembne dele.
VeTek Semiconductorjev grafitni obroč visoke čistosti je narejen iz čistega grafita z izjemno visoko čistostjo, vsebnost pepela v končnem izdelku pa je lahko <5 PPM.
Grafitni obroči imajo značilnosti visoke temperaturne odpornosti in odpornosti proti koroziji, dobre električne in toplotne prevodnosti, kemične stabilnosti in odpornosti na toplotne šoke, zaradi česar so primerni za uporabo v pečeh za epitaksialno rast GaN.
Grafitni obroči VeTek Semiconductor visoke čistosti so izdelani iz najkakovostnejšega grafita, s stabilnim delovanjem in dolgo življenjsko dobo. Če morate opraviti epitaksialno rast GaN, so naši grafitni obroči visoke čistosti najboljša izbira grafitnih delov.
VeTek Semiconductor lahko strankam zagotovi zelo prilagojene izdelke, ne glede na to, ali gre za velikost ali material obroča, lahko izpolni različne zahteve strank. Kadar koli čakamo na vaše posvetovanje.
Podatki o materialu grafita SGL 6510
Tipične lastnosti
Enote
Testni standardi
Vrednote
Povprečna velikost zrn
μm
ISO 13320
10
Nasipna gostota
g/cm3
IZ IEC 60413/204
1.83
Odprta poroznost
vol. %
DIN 66133
10
Srednji premer vhoda v pore
μm
DIN 66133
1.8
Koeficient prepustnosti (temperatura okolja)
cm2/s
OD 51935
0.06
Trdota po Rockwellu HR5/100
\
IZ IEC 60413/303
90
Upornost
μΩm
IZ IEC 60413/402
13
Upogibna trdnost
MPa
IZ IEC 60413/501
60
Tlačna trdnost
MPa
DIN 51910
130
Dinamični modul elastičnosti
MPa
DIN 51915
11,5 x 103
Toplotna ekspanzija (20-200 ℃)
K-1
DIN 51909
4,2x10-6
Toplotna prevodnost(20 ℃)
Wm-1K-1
DIN 51908
105
Vsebnost pepela
ppm
DIN 51903
\
Vetek Semiconductor Trgovine z izdelki iz grafitnih obročev visoke čistosti: