Silicijeva epitaksija, EPI, epitaksija, epitaksija se nanaša na rast plasti kristala z isto kristalno smerjo in različno debelino kristala na enem samem kristalnem silicijevem substratu. Tehnologija epitaksialne rasti je potrebna za proizvodnjo polprevodniških diskretnih komponent in integriranih vezij, ker nečistoče, ki jih vsebujejo polprevodniki, vključujejo N-tip in P-tip. S kombinacijo različnih tipov polprevodniške naprave izkazujejo različne funkcije.
Metodo rasti s silikonsko epitaksijo lahko razdelimo na epitaksijo v plinski fazi, epitaksijo v tekoči fazi (LPE), epitaksijo v trdni fazi, metodo rasti s kemičnim naparjevanjem pa se v svetu pogosto uporablja za doseganje celovitosti rešetke.
Tipično silikonsko epitaksialno opremo predstavlja italijansko podjetje LPE, ki ima palačinkasti epitaksialni hipnotični tor, sodčasti hipnotični tor, polprevodniški hipnotični nosilec, nosilec rezin itd. Shematski diagram sodčaste epitaksialne reakcijske komore hi pelektorja je naslednji. VeTek Semiconductor lahko zagotovi epitaksialni hi pelektor rezin v obliki soda. Kakovost HY pelektorja, prevlečenega s SiC, je zelo zrela. Kakovost enakovredna SGL; Istočasno lahko VeTek Semiconductor zagotovi tudi kremenčevo šobo za epitaksialno reakcijsko votlino iz silicija, kremenčevo pregrado, zvonec in druge popolne izdelke.
Silicijev epitaksialni sprejemnik Barrel-type Wafer Susceptor Polprevodniški sprejemnik Susceptor prevlečen s SiC
Če epitaksialni sprejemnik Prejemnik palačink Suceptor prevlečen s SiC
SiC prevleka Monokristalni silikonski epitaksialni pladenj je pomemben pripomoček za epitaksialno rastno peč iz monokristalnega silicija, ki zagotavlja minimalno onesnaženje in stabilno epitaksialno rastno okolje. Monokristalni silikonski epitaksialni pladenj VeTek Semiconductor s prevleko SiC ima izjemno dolgo življenjsko dobo in ponuja različne možnosti prilagajanja. VeTek Semiconductor se veseli, da bo postal vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanjeVeTek Semiconductor CVD SiC coating sod susceptor je osrednji sestavni del sodčaste epitaksialne peči. S pomočjo CVD SiC coating barel susceptorja se količina in kakovost epitaksialne rasti močno izboljšata. VeTek Semiconductor je profesionalni proizvajalec in dobavitelj SiC Coated Barrel Susceptor in je na vodilni ravni na Kitajskem in celo v svetu. VeTek Semiconductor se veseli vzpostavitve tesnega sodelovanja z vami v industriji polprevodnikov.
Preberi večPošlji povpraševanjeRotacijski suceptor iz grafita visoke čistosti ima pomembno vlogo pri epitaksialni rasti galijevega nitrida (proces MOCVD). VeTek Semiconductor je vodilni proizvajalec in dobavitelj grafitnih rotacijskih suceptorjev na Kitajskem. Razvili smo številne grafitne izdelke visoke čistosti na osnovi grafitnih materialov visoke čistosti, ki v celoti izpolnjujejo zahteve industrije polprevodnikov. VeTek Semiconductor se veseli, da bo postal vaš partner pri rotirajočem grafitnem suceptorju.
Preberi večPošlji povpraševanjeKot vodilni proizvajalec in inovator izdelkov CVD SiC Pancake Susceptor na Kitajskem. VeTek Semiconductor CVD SiC Pancake Susceptor, kot komponenta v obliki diska, zasnovana za polprevodniško opremo, je ključni element za podporo tankih polprevodniških rezin med visokotemperaturnim epitaksialnim nanašanjem. VeTek Semiconductor je zavezan zagotavljanju visokokakovostnih izdelkov SiC Pancake Susceptor in postane vaš dolgoročni partner na Kitajskem po konkurenčnih cenah.
Preberi večPošlji povpraševanjeVeTek Semiconductor je vodilni proizvajalec in inovator CVD SiC Coated Barrel Susceptor na Kitajskem. Naš CVD SiC Coated Barrel Susceptor igra ključno vlogo pri spodbujanju epitaksialne rasti polprevodniških materialov na rezinah s svojimi odličnimi lastnostmi izdelka. Vabljeni k nadaljnjemu posvetovanju.
Preberi večPošlji povpraševanjeVeTek Semiconductor EPI suceptor je zasnovan za uporabo v zahtevni epitaksialni opremi. Njegova grafitna struktura, prevlečena s silicijevim karbidom (SiC) visoke čistosti, nudi odlično toplotno odpornost, enakomerno toplotno enotnost za dosledno debelino in odpornost epitaksialne plasti ter dolgotrajno kemično odpornost. Veselimo se sodelovanja z vami.
Preberi večPošlji povpraševanje