Glava za tuširanje v obliki diska iz trdnega SiC

Vloga glave prhe v obliki diska iz trdnega SiC v procesu CVD je enakomerna porazdelitev reakcijskega plina nad območjem nanašanja, tako da se lahko plin enakomerno razprši po reaktorju, da dobimo raven in enoten film.

Solid SiC tuš glava je nameščena na vrhu CVD peči ali blizu dovoda plina. Reakcijski plin vstopi v strukturo v obliki diska skozi luknje, ki so razporejene na glavi prhe, in se razprši po površini glave prhe. Skozi zasnovo z več kanali in enakomerno porazdeljenimi izhodnimi odprtinami lahko reakcijski plin enakomerno teče po celotnem območju reaktorja, pri čemer se izogne ​​koncentraciji ali turbulenci in zagotovi konsistenco debeline plasti, nanesene na podlago.

Hkrati ima struktura glave za prho v obliki polprevodniškega diska tudi učinek difuzije, ki lahko učinkovito zmanjša pretok plina, tako da se lahko enakomerno razprši na izstopu iz šobe in zmanjša vpliv lokalnega plina spremembe toka na učinek usedanja. Pomaga pri preprečevanju neposrednega vpliva plina na podlago in preprečuje problem neenakomernega odlaganja.

Z vidika materialov je plinska tuš glava Solid SiC izdelana iz visokotemperaturno odpornega, odpornega proti koroziji in visoke trdnosti trdnega SiC materiala z zelo visoko stabilnostjo. Dolgo časa lahko stabilno deluje v CVD peči in ima dolgo življenjsko dobo.

VeTek Semiconductorzagotavlja visokokakovostne prilagojene storitve. Obliko in razporeditev lukenj glave prhe Solid SiC v obliki diska je mogoče prilagodljivo prilagoditi glede na zahteve procesa stranke, da se prilagodijo različnim vrstam plina, pretokom in materialom za nanašanje. Za različne velikosti reaktorjev ali velikosti substratov je mogoče prilagoditi prhe v obliki diska z različnimi premeri in porazdelitvijo lukenj, da optimizirate učinek porazdelitve plina.

VeTek Semiconductorima zrele postopke in napredne tehnologije za izdelke Solid SiC Semiconductor Shower Head, ki pomagajo velikemu številu strank doseči stalen napredek v procesih CVD. VeTek Semiconductor se veseli, da bo postal vaš dolgoročni partner na Kitajskem.

Fizikalne lastnosti trdnega SiC

VeTek SemiconductorProizvodne delavnice za prho v obliki diska iz trdnega SiC