VeTek semiconductor je vodilni proizvajalec materialov za prevleko iz tantalovega karbida za industrijo polprevodnikov. Naša glavna ponudba izdelkov vključuje dele s prevleko iz tantalovega karbida CVD, dele s sintrano prevleko TaC za rast kristalov SiC ali postopek epitaksije polprevodnikov. VeTek Semiconductor, ki je opravil ISO9001, ima dober nadzor nad kakovostjo. VeTek Semiconductor je namenjen postati inovator v industriji prevlek iz tantalovega karbida s stalnimi raziskavami in razvojem ponavljajočih se tehnologij.
Glavni proizvodi soDefektorski obroč s prevleko iz tantalovega karbida, preusmerjevalni obroč s prevleko iz TaC, polmesečni deli s prevleko iz TaC, planetarni rotacijski disk s prevleko iz tantalovega karbida (Aixtron G10), lonček s prevleko iz TaC; TaC prevlečeni obroči; TaC prevlečen porozni grafit; Grafitni susceptor s prevleko iz tantalovega karbida; TaC prevlečen vodilni obroč; TaC plošča, prevlečena s tantalovim karbidom; TaC prevlečen suceptor za rezine; TaC prevlečni obroč; TaC prevleka iz grafita; TaC prevlečen kositd., čistost je pod 5 ppm, lahko izpolnjuje zahteve kupcev.
TaC prevlečni grafit je ustvarjen s prevleko površine grafitnega substrata visoke čistosti s fino plastjo tantalovega karbida z lastniškim postopkom kemičnega naparjevanja (CVD). Prednost je prikazana na spodnji sliki:
Prevleka iz tantalovega karbida (TaC) je pritegnila pozornost zaradi svojega visokega tališča do 3880 °C, odlične mehanske trdnosti, trdote in odpornosti na toplotne šoke, zaradi česar je privlačna alternativa za sestavljene postopke epitaksije polprevodnikov z višjimi temperaturnimi zahtevami, kot sta sistem Aixtron MOCVD in postopek epitaksije SiC LPE. Ima tudi široko uporabo v procesu rasti kristalov SiC metode PVT.
●Temperaturna stabilnost
●Ultra visoka čistost
●Odpornost na H2, NH3, SiH4,Si
●Odpornost na toplotno zalogo
●Močan oprijem na grafit
●Konformna prevleka
● Velikost do premera 750 mm (Edini proizvajalec na Kitajskem dosega to velikost)
● Induktivni grelni sprejemnik
● Uporovni grelni element
● Toplotni ščit
Fizikalne lastnosti TaC prevleke | |
Gostota | 14,3 (g/cm³) |
Specifična emisijska sposobnost | 0.3 |
Koeficient toplotnega raztezanja | 6,3 10-6/K |
Trdota (HK) | 2000 HK |
Odpornost | 1×10-5Ohm*cm |
Toplotna stabilnost | <2500 ℃ |
Spremembe velikosti grafita | -10~-20um |
Debelina nanosa | Tipična vrednost ≥20um (35um±10um) |
Element | Atomski odstotek | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Povprečje | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
Porozni grafit, prevlečen s tantalovim karbidom, je nepogrešljiv izdelek v procesu obdelave polprevodnikov, zlasti v procesu rasti kristalov SIC. Po nenehnem vlaganju v raziskave in razvoj ter tehnoloških nadgradnjah je kakovost izdelkov VeTek Semiconductor s poroznim grafitom, prevlečenim s TaC, prejela visoke pohvale evropskih in ameriških strank. Vabljeni k nadaljnjemu posvetovanju.
Preberi večPošlji povpraševanjePlanetarni SiC epitaksialni suceptor s prevleko CVD TaC je ena od osrednjih komponent planetarnega reaktorja MOCVD. Skozi CVD TaC prevleko planetarnega SiC epitaksialnega suceptorja, veliki disk kroži po orbitah in majhen disk se vrti, model horizontalnega toka pa je razširjen na stroje z več čipi, tako da ima tako visokokakovostno upravljanje enotnosti epitaksialne valovne dolžine kot optimizacijo napak enega samega -čipni stroji in proizvodne stroškovne prednosti strojev z več čipi. VeTek Semiconductor lahko strankam zagotovi zelo prilagojen CVD Planetarni SiC epitaksialni suceptor s prevleko TaC. Če želite tudi vi izdelati planetarno MOCVD peč, kot je Aixtron, pridite k nam!
Preberi večPošlji povpraševanjeVeTek Semiconductor se kot vodilni proizvajalec in dobavitelj obročev s prevleko iz TaC na Kitajskem osredotoča na raziskave in razvoj ter proizvodnjo različnih izdelkov s prevleko iz TaC. Evropski in ameriški proizvajalci so kot glavni kupci izdelkov TaC Coating zelo pohvalili naše premazne izdelke. Vabljeni k nadaljnjemu posvetovanju.
Preberi večPošlji povpraševanjeVeTek Semiconductor je kitajsko podjetje, ki je svetovni proizvajalec in dobavitelj susceptorja GaN Epitaxy. Že dolgo delamo v industriji polprevodnikov, kot so prevleke iz silicijevega karbida in susceptor GaN Epitaxy. Zagotavljamo vam odlične izdelke in ugodne cene. VeTek Semiconductor se veseli, da bo postal vaš dolgoročni partner.
Preberi večPošlji povpraševanjeeTek Semiconductor TaC Coated Wafer Susceptor je grafitni pladenj, prevlečen s tantalovim karbidom za epitaksialno rast silicijevega karbida za izboljšanje kakovosti in učinkovitosti rezin. VeTek je izbran zaradi svoje napredne tehnologije prevleke in vzdržljivih rešitev za zagotavljanje odličnih rezultatov epitaksije SiC in podaljšane življenjske dobe suceptorja. Pozdravljamo vaša nadaljnja povpraševanja.
Preberi večPošlji povpraševanjeKot vodilni proizvajalec izdelkov vodilnih obročev s prevleko TaC na Kitajskem so vodilni obroči VeTek Semiconductor s prevleko iz TaC pomembne komponente v opremi MOCVD, ki zagotavljajo natančno in stabilno dovajanje plina med epitaksialno rastjo in so nepogrešljiv material pri epitaksialni rasti polprevodnikov. Dobrodošli, da se posvetujete z nami.
Preberi večPošlji povpraševanje