Kaj je prevleka iz tantalovega karbida?

Keramični material tantalov karbid (TaC) ima tališče do 3880 ℃ in je spojina z visokim tališčem in dobro kemično stabilnostjo. Ohranja lahko stabilno delovanje v okoljih z visoko temperaturo. Poleg tega ima tudi visoko temperaturno odpornost, odpornost proti kemični koroziji ter dobro kemično in mehansko združljivost z ogljikovimi materiali, zaradi česar je idealen material za zaščito grafitne podlage. 

Prevleka iz tantalovega karbida lahko učinkovito zaščiti grafitne komponente pred učinki vročega amoniaka, vodika, silicijevih hlapov in staljene kovine v težkih okoljih uporabe, kar znatno podaljša življenjsko dobo grafitnih komponent in zavira migracijo nečistoč v grafitu, kar zagotavlja kakovostepitaksialnoinrast kristalov.

Slika 1. Običajne komponente, prevlečene s tantalovim karbidom

Kemično naparjevanje (CVD) je najbolj zrela in optimalna metoda za izdelavo prevlek TaC na grafitnih površinah.

Z uporabo TaCl5 in propilena kot virov ogljika oziroma tantala in argona kot nosilnega plina se visokotemperaturna uparjena para TaCl5 vnese v reakcijsko komoro. Pri ciljni temperaturi in tlaku se hlapi predhodnega materiala adsorbirajo na površini grafita, pri čemer poteka vrsta zapletenih kemičnih reakcij, kot sta razgradnja in kombinacija virov ogljika in tantala, ter vrsta površinskih reakcij, kot sta difuzija in desorpcija stranski produkti predhodnika. Končno se na površini grafita oblikuje gosta zaščitna plast, ki ščiti grafit pred stabilnim obstojem v ekstremnih okoljskih pogojih in bistveno razširi scenarije uporabe grafitnih materialov.

Slika 2.Princip postopka kemičnega naparjevanja (CVD).

VeTek Semiconductorv glavnem zagotavlja izdelke iz tantalovega karbida: vodilni obroč TaC, obroč s tremi cvetnimi lističi s prevleko iz TaC, lonček s prevleko iz TaC, porozni grafit s prevleko iz TaC se pogosto uporabljajo v procesu rasti kristalov SiC; porozni grafit s prevleko iz TaC, vodilni obroč s prevleko iz TaC, nosilec za rezine s prevleko iz TaC, TaC prevleke za prevleke, planetarne prevleke, satelitske prevleke s TaC prevleko in ti izdelki za prevleko iz tantalovega karbida se pogosto uporabljajo vPostopek epitaksije SiCinPostopek rasti monokristala SiC.

Slika 3.VeTNajbolj priljubljeni izdelki za prevleko iz tantalovega karbida ek Semiconductor