Izhlapevanje z elektronskim žarkom je zelo učinkovita in pogosto uporabljena metoda nanašanja premaza v primerjavi z uporovnim segrevanjem, ki segreje material za izhlapevanje z elektronskim žarkom, kar povzroči, da uparja in kondenzira v tanek film.
Preberi večVakuumski premaz vključuje uparjanje filmskega materiala, vakuumski transport in rast tankega filma. Glede na različne metode uparjanja filmskega materiala in postopke transporta lahko vakuumsko prevleko razdelimo v dve kategoriji: PVD in CVD.
Preberi večNanašanje tankega filma je ključnega pomena pri proizvodnji čipov, saj ustvarja mikro naprave z nanašanjem filmov debeline manj kot 1 mikron s pomočjo CVD, ALD ali PVD. S temi postopki sestavljajo polprevodniške komponente prek izmeničnih prevodnih in izolacijskih filmov.
Preberi večPostopek izdelave polprevodnikov vključuje osem korakov: obdelavo rezin, oksidacijo, litografijo, jedkanje, nanašanje tankega filma, medsebojno povezovanje, testiranje in pakiranje. Silicij iz peska se predela v rezine, oksidira, vzorči in jedka za visoko natančna vezja.
Preberi več