domov > Izdelki > Prevleka iz silicijevega karbida

Kitajska Prevleka iz silicijevega karbida Proizvajalec, dobavitelj, tovarna

VeTek Semiconductor je specializiran za proizvodnjo izdelkov iz ultra čistega silicijevega karbida, ti premazi so zasnovani za nanašanje na prečiščen grafit, keramiko in ognjevzdržne kovinske komponente.

Naši premazi visoke čistosti so namenjeni predvsem uporabi v polprevodniški in elektronski industriji. Služijo kot zaščitna plast za nosilce rezin, suceptorje in grelne elemente ter jih ščitijo pred jedkimi in reaktivnimi okolji, do katerih pride v procesih, kot sta MOCVD in EPI. Ti procesi so sestavni del obdelave rezin in izdelave naprav. Poleg tega so naši premazi zelo primerni za uporabo v vakuumskih pečeh in segrevanje vzorcev, kjer se srečujemo z visokim vakuumom, reaktivnim okoljem in okoljem s kisikom.

Pri VeTek Semiconductor ponujamo celovito rešitev z našimi naprednimi zmogljivostmi strojne delavnice. To nam omogoča izdelavo osnovnih komponent z uporabo grafita, keramike ali ognjevzdržnih kovin in lastno nanašanje keramičnih prevlek SiC ali TaC. Nudimo tudi storitve premazovanja za dele, ki jih dobavljajo stranke, s čimer zagotavljamo prilagodljivost za izpolnjevanje različnih potreb.

Naši izdelki s prevleko iz silicijevega karbida se pogosto uporabljajo v Si epitaksiji, SiC epitaksiji, sistemu MOCVD, procesu RTP/RTA, postopku jedkanja, postopku jedkanja ICP/PSS, procesu različnih vrst LED, vključno z modro in zeleno LED, UV LED in globokim UV LED itd., ki je prilagojen opremi LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI itd.


Deli reaktorja, ki jih lahko naredimo:

Aixtron G5,EPI susceptor,MOCVD susceptor


Prevleka iz silicijevega karbida ima več edinstvenih prednosti:

Silicon Carbide Coating several unique advantages


Parameter prevleke iz silicijevega karbida VeTek Semiconductor:

Osnovne fizikalne lastnosti CVD SiC prevleke
Lastnina Tipična vrednost
Kristalna struktura FCC β faza polikristalna, pretežno (111) usmerjena
Gostota 3,21 g/cm³
Trdota 2500 Vickers trdota(500g obremenitev)
Velikost zrn 2~10 μm
Kemijska čistost 99,99995 %
Toplotna zmogljivost 640 J·kg-1·K-1
Temperatura sublimacije 2700 ℃
Upogibna trdnost 415 MPa RT 4-točkovno
Youngov modul 430 Gpa 4-točkovni upogib, 1300 ℃
Toplotna prevodnost 300 W·m-1·K-1
Toplotna ekspanzija (CTE) 4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films


View as  
 
Nosilec za rezine, prevlečen s SiC

Nosilec za rezine, prevlečen s SiC

Kot vodilni dobavitelj in proizvajalec nosilcev rezin s prevleko iz SiC na Kitajskem je nosilec rezin s prevleko iz SiC podjetja VeTek Semiconductor izdelan iz visokokakovostnega grafita in CVD SiC prevleke, ki ima super stabilnost in lahko dolgo deluje v večini epitaksialnih reaktorjev. VeTek Semiconductor ima vodilne zmogljivosti obdelave v panogi in lahko izpolni različne zahteve strank po meri za nosilce rezin, prevlečene s SiC. VeTek Semiconductor se veseli vzpostavitve dolgoročnega sodelovanja z vami in skupne rasti.

Preberi večPošlji povpraševanje
Grafit MOCVD grelec s prevleko SiC

Grafit MOCVD grelec s prevleko SiC

VeTeK Semiconductor proizvaja grafitni grelec MOCVD s prevleko SiC, ki je ključna komponenta procesa MOCVD. Na osnovi grafitnega substrata visoke čistosti je površina prevlečena s prevleko SiC visoke čistosti, ki zagotavlja odlično stabilnost pri visokih temperaturah in odpornost proti koroziji. Z visokokakovostnimi in zelo prilagojenimi storitvami izdelkov je grafitni MOCVD grelec VeTeK Semiconductor s prevleko SiC idealna izbira za zagotavljanje stabilnosti procesa MOCVD in kakovosti nanašanja tankega filma. VeTeK Semiconductor se veseli, da bo postal vaš partner.

Preberi večPošlji povpraševanje
Epi suceptor, prevlečen s silicijevim karbidom

Epi suceptor, prevlečen s silicijevim karbidom

VeTek Semiconductor je vodilni proizvajalec in dobavitelj izdelkov za prevleko SiC na Kitajskem. VeTek Semiconductor's SiC prevlečen Epi suceptor ima najvišjo raven kakovosti v industriji, je primeren za več stilov epitaksialnih rastnih peči in zagotavlja zelo prilagojene storitve izdelkov. VeTek Semiconductor se veseli, da bo postal vaš dolgoročni partner na Kitajskem.

Preberi večPošlji povpraševanje
SiC prevleka Monokristalni silikonski epitaksialni pladenj

SiC prevleka Monokristalni silikonski epitaksialni pladenj

SiC prevleka Monokristalni silikonski epitaksialni pladenj je pomemben pripomoček za epitaksialno rastno peč iz monokristalnega silicija, ki zagotavlja minimalno onesnaženje in stabilno epitaksialno rastno okolje. Monokristalni silikonski epitaksialni pladenj VeTek Semiconductor s prevleko SiC ima izjemno dolgo življenjsko dobo in ponuja različne možnosti prilagajanja. VeTek Semiconductor se veseli, da bo postal vaš dolgoročni partner na Kitajskem.

Preberi večPošlji povpraševanje
Nosilec rezin iz trdnega SiC

Nosilec rezin iz trdnega SiC

Nosilec rezin iz trdnega SiC podjetja VeTek Semiconductor je zasnovan za okolja, odporna na visoke temperature in korozijo, v epitaksialnih postopkih polprevodnikov in je primeren za vse vrste postopkov izdelave rezin z visokimi zahtevami glede čistosti. VeTek Semiconductor je vodilni dobavitelj nosilcev rezin na Kitajskem in se veseli, da bo postal vaš dolgoročni partner v industriji polprevodnikov.

Preberi večPošlji povpraševanje
Satelitski pokrov s prevleko iz SiC za MOCVD

Satelitski pokrov s prevleko iz SiC za MOCVD

Kot vodilni proizvajalec in dobavitelj satelitskega pokrova s ​​prevleko iz SiC za izdelke MOCVD na Kitajskem ima Vetek Semiconductor satelitski pokrov s prevleko iz SiC za izdelke MOCVD izjemno visoko temperaturno odpornost, odlično odpornost proti oksidaciji in odlično odpornost proti koroziji ter igra nenadomestljivo vlogo pri zagotavljanju visokokakovostnega epitaksija. narastek na oblatih. Pozdravljamo vaša nadaljnja povpraševanja.

Preberi večPošlji povpraševanje
Kot profesionalni Prevleka iz silicijevega karbida proizvajalec in dobavitelj na Kitajskem imamo lastno tovarno. Ne glede na to, ali potrebujete prilagojene storitve za izpolnjevanje posebnih potreb vaše regije ali želite kupiti napredno in vzdržljivo Prevleka iz silicijevega karbida, izdelano na Kitajskem, nam lahko pustite sporočilo.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept