VeTek Semiconductor je specializiran za proizvodnjo izdelkov iz ultra čistega silicijevega karbida, ti premazi so zasnovani za nanašanje na prečiščen grafit, keramiko in ognjevzdržne kovinske komponente.
Naši premazi visoke čistosti so namenjeni predvsem uporabi v polprevodniški in elektronski industriji. Služijo kot zaščitna plast za nosilce rezin, suceptorje in grelne elemente ter jih ščitijo pred jedkimi in reaktivnimi okolji, do katerih pride v procesih, kot sta MOCVD in EPI. Ti procesi so sestavni del obdelave rezin in izdelave naprav. Poleg tega so naši premazi zelo primerni za uporabo v vakuumskih pečeh in segrevanje vzorcev, kjer se srečujemo z visokim vakuumom, reaktivnim okoljem in okoljem s kisikom.
Pri VeTek Semiconductor ponujamo celovito rešitev z našimi naprednimi zmogljivostmi strojne delavnice. To nam omogoča izdelavo osnovnih komponent z uporabo grafita, keramike ali ognjevzdržnih kovin in lastno nanašanje keramičnih prevlek SiC ali TaC. Nudimo tudi storitve premazovanja za dele, ki jih dobavljajo stranke, s čimer zagotavljamo prilagodljivost za izpolnjevanje različnih potreb.
Naši izdelki s prevleko iz silicijevega karbida se pogosto uporabljajo v Si epitaksiji, SiC epitaksiji, sistemu MOCVD, procesu RTP/RTA, postopku jedkanja, postopku jedkanja ICP/PSS, procesu različnih vrst LED, vključno z modro in zeleno LED, UV LED in globokim UV LED itd., ki je prilagojen opremi LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI itd.
Osnovne fizikalne lastnosti CVD SiC prevleke | |
Lastnina | Tipična vrednost |
Kristalna struktura | FCC β faza polikristalna, pretežno (111) usmerjena |
Gostota | 3,21 g/cm³ |
Trdota | 2500 Vickers trdota(500g obremenitev) |
Velikost zrn | 2~10 μm |
Kemijska čistost | 99,99995 % |
Toplotna zmogljivost | 640 J·kg-1·K-1 |
Temperatura sublimacije | 2700 ℃ |
Upogibna trdnost | 415 MPa RT 4-točkovno |
Youngov modul | 430 Gpa 4-točkovni upogib, 1300 ℃ |
Toplotna prevodnost | 300 W·m-1·K-1 |
Toplotna ekspanzija (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Kot vodilni dobavitelj in proizvajalec nosilcev rezin s prevleko iz SiC na Kitajskem je nosilec rezin s prevleko iz SiC podjetja VeTek Semiconductor izdelan iz visokokakovostnega grafita in CVD SiC prevleke, ki ima super stabilnost in lahko dolgo deluje v večini epitaksialnih reaktorjev. VeTek Semiconductor ima vodilne zmogljivosti obdelave v panogi in lahko izpolni različne zahteve strank po meri za nosilce rezin, prevlečene s SiC. VeTek Semiconductor se veseli vzpostavitve dolgoročnega sodelovanja z vami in skupne rasti.
Preberi večPošlji povpraševanjeVeTeK Semiconductor proizvaja grafitni grelec MOCVD s prevleko SiC, ki je ključna komponenta procesa MOCVD. Na osnovi grafitnega substrata visoke čistosti je površina prevlečena s prevleko SiC visoke čistosti, ki zagotavlja odlično stabilnost pri visokih temperaturah in odpornost proti koroziji. Z visokokakovostnimi in zelo prilagojenimi storitvami izdelkov je grafitni MOCVD grelec VeTeK Semiconductor s prevleko SiC idealna izbira za zagotavljanje stabilnosti procesa MOCVD in kakovosti nanašanja tankega filma. VeTeK Semiconductor se veseli, da bo postal vaš partner.
Preberi večPošlji povpraševanjeVeTek Semiconductor je vodilni proizvajalec in dobavitelj izdelkov za prevleko SiC na Kitajskem. VeTek Semiconductor's SiC prevlečen Epi suceptor ima najvišjo raven kakovosti v industriji, je primeren za več stilov epitaksialnih rastnih peči in zagotavlja zelo prilagojene storitve izdelkov. VeTek Semiconductor se veseli, da bo postal vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanjeSiC prevleka Monokristalni silikonski epitaksialni pladenj je pomemben pripomoček za epitaksialno rastno peč iz monokristalnega silicija, ki zagotavlja minimalno onesnaženje in stabilno epitaksialno rastno okolje. Monokristalni silikonski epitaksialni pladenj VeTek Semiconductor s prevleko SiC ima izjemno dolgo življenjsko dobo in ponuja različne možnosti prilagajanja. VeTek Semiconductor se veseli, da bo postal vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanjeNosilec rezin iz trdnega SiC podjetja VeTek Semiconductor je zasnovan za okolja, odporna na visoke temperature in korozijo, v epitaksialnih postopkih polprevodnikov in je primeren za vse vrste postopkov izdelave rezin z visokimi zahtevami glede čistosti. VeTek Semiconductor je vodilni dobavitelj nosilcev rezin na Kitajskem in se veseli, da bo postal vaš dolgoročni partner v industriji polprevodnikov.
Preberi večPošlji povpraševanjeKot vodilni proizvajalec in dobavitelj satelitskega pokrova s prevleko iz SiC za izdelke MOCVD na Kitajskem ima Vetek Semiconductor satelitski pokrov s prevleko iz SiC za izdelke MOCVD izjemno visoko temperaturno odpornost, odlično odpornost proti oksidaciji in odlično odpornost proti koroziji ter igra nenadomestljivo vlogo pri zagotavljanju visokokakovostnega epitaksija. narastek na oblatih. Pozdravljamo vaša nadaljnja povpraševanja.
Preberi večPošlji povpraševanje