VeTek Semiconductor je vaš inovativni partner na področju obdelave polprevodnikov. Z našim obsežnim portfeljem kombinacij materialov Silicon Carbide Ceramics za polprevodnike, zmogljivostmi izdelave komponent in storitvami inženiringa aplikacij vam lahko pomagamo premagati velike izzive. Inženirska tehnična keramika iz silicijevega karbida se pogosto uporablja v industriji polprevodnikov zaradi izjemne učinkovitosti materiala. Izjemno čista silicijeva karbidna keramika VeTek Semiconductor se pogosto uporablja v celotnem ciklu proizvodnje in obdelave polprevodnikov.
VeTek Semiconductor zagotavlja inženirske keramične komponente, posebej zasnovane za serijsko difuzijo in zahteve LPCVD, vključno z:
• Pregrade in držala
• Injektorji
• Obloge in procesne cevi
• Konzolne lopatice iz silicijevega karbida
• Ladjice in podstavki iz oblatov
SiC konzolno veslo SiC procesne cevi Procesna cev iz silicijevega karbida SiC navpični čoln za rezine SiC vodoravni čoln za rezine SiC vodoravni kvadratni čoln za rezine SiC LPCVD ladja za rezine SiC vodoravni čoln SiC okrogel čoln za rezine
Zmanjšajte kontaminacijo in nenačrtovano vzdrževanje s komponentami visoke čistosti, izdelanimi za zahtevno obdelavo s plazemskim jedkanjem, vključno z:
Fokusni obroči
Šobe
Ščitniki
Tuš glave
Okna / pokrovi
Druge komponente po meri
VeTek Semiconductor zagotavlja napredne materialne komponente, prilagojene za uporabo pri visokotemperaturni toplotni obdelavi v industriji polprevodnikov. Te aplikacije zajemajo postopke RTP, Epi, difuzijo, oksidacijo in žarjenje. Naša tehnična keramika je zasnovana tako, da prenese toplotne udarce, kar zagotavlja zanesljivo in dosledno delovanje. S komponentami VeTek Semiconductor lahko proizvajalci polprevodnikov dosežejo učinkovito in visokokakovostno termično obdelavo, kar prispeva k splošnemu uspehu proizvodnje polprevodnikov.
• Difuzorji
• Izolatorji
• Susceptorji
• Druge toplotne komponente po meri
Fizikalne lastnosti prekristaliziranega silicijevega karbida | |
Lastnina | Tipična vrednost |
Delovna temperatura (°C) | 1600°C (s kisikom), 1700°C (redukcijsko okolje) |
Vsebnost SiC / SiC | > 99,96 % |
Vsebnost silicija/prostega silicija | < 0,1 % |
Nasipna gostota | 2,60-2,70 g/cm3 |
Navidezna poroznost | < 16 % |
Trdnost stiskanja | > 600 MPa |
Hladna upogibna trdnost | 80-90 MPa (20 °C) |
Trdnost pri vročem upogibanju | 90-100 MPa (1400 °C) |
Toplotna ekspanzija pri 1500°C | 4,70 10-6/°C |
Toplotna prevodnost @1200°C | 23 W/m•K |
Modul elastičnosti | 240 GPa |
Odpornost na toplotni udar | Izjemno dobro |
VeTek Semiconductor je vodilni dobavitelj in proizvajalec kvarčnih lončkov na Kitajskem. kremenčevi lončki, ki jih proizvajamo, se večinoma uporabljajo na področju polprevodnikov in fotovoltaike. Imajo lastnosti čistoče in odpornosti na visoke temperature. In naš kvarčni lonček za polprevodnike podpira proizvodne procese vlečenja silicijeve palice, nalaganja in praznjenja polisilicijevih surovin v procesu proizvodnje polprevodniških silicijevih rezin in je ključni potrošni material za proizvodnjo silicijevih rezin. VeTek Semiconductor se veseli, da bo postal vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanjeKot profesionalni dobavitelj nosilcev rezin iz silicijevega karbida na Kitajskem je VeTek Semiconductor SiC nosilec rezin orodje, ki se posebej uporablja za ravnanje in obdelavo polprevodniških rezin, ki ima nenadomestljivo vlogo v postopku izdelave polprevodniških rezin. Vabljeni k nadaljnjemu posvetovanju.
Preberi večPošlji povpraševanjeVeTek Semiconductor Silicon Pedestal je ključna komponenta v procesih difuzije in oksidacije polprevodnikov. Kot namenska platforma za prenašanje silicijevih čolnov v visokotemperaturnih pečeh ima Silicon Pedestal veliko edinstvenih prednosti, vključno z izboljšano enakomernostjo temperature, optimizirano kakovostjo rezin in izboljšano zmogljivostjo polprevodniških naprav. Za več informacij o izdelku nas kontaktirajte.
Preberi večPošlji povpraševanjeKot obsežna tovarna in dobavitelj izdelkov SiC keramičnih tesnilnih obročev na Kitajskem ima VeTek Semiconductor SiC keramični tesnilni obroč širok spekter uporabe na industrijskem področju zaradi odlične toplotne prevodnosti, izjemne odpornosti proti kemikalijam in koroziji ter visoke trdnosti in togost. Pozdravljamo vaša nadaljnja povpraševanja.
Preberi večPošlji povpraševanjeKot vodilni proizvajalec in dobavitelj opreme za difuzijske peči na Kitajskem ima VeTek Semiconductor SiC Diffusion Furnace Tube znatno visoko upogibno trdnost, odlično odpornost proti oksidaciji, odpornost proti koroziji, visoko odpornost proti obrabi in odlične mehanske lastnosti pri visokih temperaturah. Zaradi česar je nepogrešljiv material za opremo v aplikacijah difuzijskih peči. VeTek Semiconductor se zavzema za proizvodnjo in dobavo visokokakovostnih SiC difuzijskih cevi in pozdravlja vaša nadaljnja povpraševanja.
Preberi večPošlji povpraševanjeVeTek Semiconductor ponuja prilagojen nosilec za rezine SiC visoke čistosti. Izdelan je iz silicijevega karbida visoke čistosti in ima reže, ki držijo rezino na mestu in preprečujejo njeno drsenje med obdelavo. Po potrebi je na voljo tudi prevleka CVD SiC. Kot profesionalen in močan proizvajalec in dobavitelj polprevodnikov je nosilec za rezine SiC visoke čistosti VeTek Semiconductor cenovno konkurenčen in visokokakovosten. VeTek Semiconductor se veseli, da bo vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanje