Tehnološki preboj tantalovega karbida, SiC epitaksialno onesnaženje zmanjšano za 75 %?

Pred kratkim je nemški raziskovalni inštitut Fraunhofer IISB naredil preboj v raziskavah in razvojutehnologija prevleke s tantalovim karbidom, in razvil rešitev za nanašanje z razprševanjem, ki je bolj prilagodljiva in okolju prijazna od raztopine za nanašanje CVD, in je bila komercializirana.

Domači polprevodnik vetek je prav tako naredil preboj na tem področju, za podrobnosti glejte spodaj.

Fraunhofer IISB:

Razvoj nove tehnologije nanosa TaC

5. marca po poročanju medijev "Sestavljeni polprevodnik« je Fraunhofer IISB razvil novotehnologija nanosa tantalovega karbida (TaC).-Taccotta. Tehnološka licenca je bila prenesena na Nippon Kornmeyer Carbon Group (NKCG), NKCG pa je svojim strankam začela zagotavljati grafitne dele, prevlečene s TaC.

Tradicionalna metoda izdelave prevlek TaC v industriji je kemično naparjevanje (CVD), ki se sooča s pomanjkljivostmi, kot so visoki proizvodni stroški in dolgi dobavni roki. Poleg tega je metoda CVD tudi nagnjena k pokanju TaC med ponavljajočim segrevanjem in ohlajanjem komponent. Te razpoke razkrijejo spodnji grafit, ki se sčasoma močno razgradi in ga je treba zamenjati.

Inovacija podjetja Taccotta je, da uporablja metodo pršilnega premaza na vodni osnovi, ki mu sledi temperaturna obdelava, da se oblikuje premaz TaC z visoko mehansko stabilnostjo in nastavljivo debelino nagrafitno podlago. Debelina nanosa se lahko prilagodi od 20 mikronov do 200 mikronov, da ustreza različnim zahtevam uporabe.

Procesna tehnologija TaC, ki jo je razvil Fraunhofer IISB, lahko prilagodi zahtevane lastnosti premaza, kot je debelina, kot je prikazano spodaj, v območju od 35 μm do 110 μm

Natančneje, pršilni premaz Taccotta ima tudi naslednje ključne značilnosti in prednosti:

● Okolju prijaznejši: s pršilnim premazom na vodni osnovi je ta metoda bolj okolju prijazna in enostavna za industrializacijo;

● Prilagodljivost: Tehnologija Taccotta se lahko prilagodi komponentam različnih velikosti in geometrij, kar omogoča delno prevleko in obnovo komponent, kar pri CVD ni mogoče.

● Zmanjšano onesnaženje s tantalom: grafitne komponente s prevleko Taccotta se uporabljajo pri epitaksialni proizvodnji SiC, onesnaženje s tantalom pa je zmanjšano za 75 % v primerjavi z obstoječimiCVD prevleke.

● Odpornost proti obrabi: Preizkusi prask kažejo, da lahko povečanje debeline premaza znatno izboljša odpornost proti obrabi.

Test prask

Poroča se, da je tehnologijo za komercializacijo spodbujal NKCG, skupno podjetje, ki se osredotoča na zagotavljanje visoko zmogljivih grafitnih materialov in sorodnih izdelkov. NKCG bo tudi v prihodnje še dolgo sodelovala pri razvoju tehnologije Taccotta. Podjetje je svojim strankam začelo zagotavljati grafitne komponente, ki temeljijo na tehnologiji Taccotta.

Vetek Semiconductor spodbuja lokalizacijo TaC

V začetku leta 2023 je Vetek Semiconductor lansiral novo generacijoRast kristalov SiCmaterial toplotnega polja-porozni tantalov karbid.

Glede na poročila je Vetek Semiconductor naredil preboj v razvojuporozni tantalov karbidz veliko poroznostjo z neodvisnimi tehnološkimi raziskavami in razvojem. Njegova poroznost lahko doseže do 75 %, s čimer doseže mednarodno vodstvo.