MOCVD susceptor s prevleko TaC

VeTek Semiconductor je vodilni kitajski proizvajalec, dobavitelj in izvoznik, specializiran za MOCVD susceptor s prevleko TaC. Vabimo vas, da pridete v našo tovarno in kupite najnovejše, nizkocenovne in visokokakovostne susceptorje MOCVD s prevleko TaC. Veselimo se sodelovanja z vami.

LED epitaksija se sooča z izzivi, kot so nadzor kakovosti kristalov, izbira in ujemanje materialov, strukturna zasnova in optimizacija, nadzor in doslednost procesa ter učinkovitost odvajanja svetlobe. Izbira pravega materiala za nosilec rezin z epitaksijo je ključnega pomena, prevleka s tankim filmom tantalovega karbida (TaC) (prevleka TaC) pa zagotavlja dodatne prednosti.

Pri izbiri materiala za nosilec rezin z epitaksijo je treba upoštevati več ključnih dejavnikov:

Temperaturna toleranca in kemična stabilnost: postopki LED epitaksije vključujejo visoke temperature in lahko vključujejo uporabo kemikalij. Zato je treba izbrati materiale z dobro temperaturno toleranco in kemično stabilnostjo, da se zagotovi stabilnost nosilca v visokotemperaturnem in kemičnem okolju.

Ravnost površine in odpornost proti obrabi: površina nosilca rezin za epitaksijo mora imeti dobro ravnost, da se zagotovi enakomeren stik in stabilna rast rezin za epitaksijo. Poleg tega je odpornost proti obrabi pomembna za preprečevanje površinskih poškodb in obrabe.

Toplotna prevodnost: Izbira materiala z dobro toplotno prevodnostjo pomaga učinkovito odvajati toploto, ohranja stabilno rastno temperaturo za epitaksijsko plast in izboljša stabilnost in konsistenco postopka.

V zvezi s tem ima prevleka nosilca rezin za epitaksijo s TaC naslednje prednosti:

Visokotemperaturna stabilnost: prevleka TaC izkazuje odlično visokotemperaturno stabilnost, kar mu omogoča, da ohrani svojo strukturo in zmogljivost med visokotemperaturnimi postopki epitaksije in zagotavlja vrhunsko temperaturno toleranco.

Kemijska stabilnost: prevleka TaC je odporna proti koroziji zaradi običajnih kemikalij in atmosfere, ščiti nosilec pred kemično degradacijo in povečuje njegovo vzdržljivost.

Trdota in odpornost proti obrabi: prevleka TaC ima visoko trdoto in odpornost proti obrabi, krepi površino nosilca rezin z epitaksijo, zmanjšuje poškodbe in obrabo ter podaljšuje njegovo življenjsko dobo.

Toplotna prevodnost: prevleka TaC izkazuje dobro toplotno prevodnost, pomaga pri odvajanju toplote, ohranja stabilno rastno temperaturo za epitaksijsko plast ter izboljšuje stabilnost in konsistenco postopka.

Zato izbira nosilca rezin za epitaksijo s prevleko TaC pomaga pri reševanju izzivov epitaksije LED, saj izpolnjuje zahteve visokotemperaturnih in kemičnih okolij. Ta prevleka ponuja prednosti, kot so visokotemperaturna stabilnost, kemična stabilnost, trdota in odpornost proti obrabi ter toplotna prevodnost, kar prispeva k izboljšani zmogljivosti, življenjski dobi in proizvodni učinkovitosti nosilca rezin z epitaksijo.

Osnovne fizikalne lastnosti TaC prevleke:

VeTek Semiconductor Production Shop

Pregled industrijske verige epitaksije polprevodniških čipov: