MOCVD akceptor

VeTek Semiconductor vam kot proizvajalec CVD SiC prevleke želi ponuditi Aixtron G5 MOCVD susceptorje, ki so izdelani iz grafita visoke čistosti in CVD SiC prevleke (pod 5 ppm).

Dobrodošli, da nas povprašate.

Tehnologija mikro LED moti obstoječi ekosistem LED z metodami in pristopi, ki so bili do zdaj vidni samo v industriji LCD ali polprevodnikov, sistem Aixtron G5 MOCVD pa odlično podpira te stroge razširitvene zahteve. Aixtron G5 je zmogljiv reaktor MOCVD, zasnovan predvsem za epitaksijsko rast GaN na osnovi silicija.

Bistveno je, da imajo vse izdelane epitaksialne rezine zelo tesno porazdelitev valovnih dolžin in zelo nizke ravni površinskih napak, kar zahteva inovativno tehnologijo MOCVD.

Aixtron G5 je vodoravni sistem za epitaksijo planetnega diska, predvsem planetarni disk, suceptor MOCVD, pokrivni obroč, strop, podporni obroč, pokrivni disk, izpušni zbiralnik, podložka zatiča, vstopni obroč zbiralnika itd., Glavni materiali izdelka so CVD SiC prevleka+ grafit visoke čistosti, polprevodniški kremen, prevleka CVD TaC + grafit visoke čistosti, trda klobučevina in drugi materiali.

Značilnosti susceptorja MOCVD so naslednje:

Zaščita osnovnega materiala: CVD SiC prevleka deluje kot zaščitna plast v epitaksialnem procesu, ki lahko učinkovito prepreči erozijo in poškodbe zunanjega okolja na osnovnem materialu, zagotovi zanesljive zaščitne ukrepe in podaljša življenjsko dobo opreme.

Odlična toplotna prevodnost: prevleka CVD SiC ima odlično toplotno prevodnost in lahko hitro prenese toploto iz osnovnega materiala na površino prevleke, s čimer izboljša učinkovitost toplotnega upravljanja med epitaksijo in zagotovi, da oprema deluje v ustreznem temperaturnem območju.

Izboljšajte kakovost filma: prevleka CVD SiC lahko zagotovi ravno, enakomerno površino, kar je dobra podlaga za rast filma. Zmanjša lahko napake, ki jih povzroči neusklajenost rešetke, izboljša kristaliničnost in kakovost filma ter tako izboljša delovanje in zanesljivost epitaksialnega filma.

Osnovne fizikalne lastnosti CVD SiC prevleke:

Industrijska veriga:

Proizvodna trgovina