Aixtron MOCVD receptor

Suceptorji, ki jih proizvajaVetek Semiconductorso izdelani iz grafitne podlage in prevleke iz silicijevega karbida (SiC). Glede na večjo odpornost proti obrabi, odpornost proti koroziji in izjemno visoko trdoto SiC materiala je še posebej primeren za uporabo v težkih procesnih okoljih. Zato je mogoče susceptorje, ki jih proizvaja Vetek Semiconductor, neposredno uporabiti v visokotemperaturnih procesih MOCVD brez dodatne površinske obdelave.

Susceptorji so ključne komponente v proizvodnji polprevodnikov, zlasti v opremi MOCVD za postopke nanašanja tankih filmov. Glavna vloga odAixtron SiC sprejemnikv procesu MOCVD je prenašanje polprevodniških rezin, zagotavljanje enotnega in visokokakovostnega nanašanja tankih filmov z zagotavljanjem enakomerne porazdelitve toplote in reakcijskega okolja, s čimer se doseže visokokakovostna proizvodnja tankih filmov.

Aixtron MOCVD receptorse običajno uporablja za podporo in pritrditev osnove polprevodniških rezin, da se zagotovi stabilnost rezine med postopkom nanašanja. Hkrati je površinska prevleka Aixtron MOCVD Susceptor narejena iz silicijevega karbida (SiC), visoko toplotno prevodnega materiala. Prevleka SiC zagotavlja enakomerno temperaturo na površini rezine, enakomerno segrevanje pa je bistveno za pridobivanje visokokakovostnih filmov.

Poleg tega jeAixtron MOCVD receptorproizvajamo, igra večjo vlogo pri nadzoru pretoka in distribucije reaktivnih plinov z optimizirano zasnovo materialov. Izogibajte se vrtinčnim tokovom in temperaturnim gradientom, da dosežete enakomerno nanašanje filma.

Še pomembneje je, da je v postopku MOCVD material za prevleko iz silicijevega karbida (SiC) odporen proti koroziji, tako daVetek Semiconductor'sAixtron MOCVD receptorlahko prenese tudi visoke temperature in korozivne pline.

Osnovne fizikalne lastnostiSIC PREVLEKA:

VeTek Semiconductor Wafer Boat trgovine:

Pregled verige industrije epitaksije polprevodniških čipov: