VeTek Semiconductor's CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor je natančno izdelano orodje, zasnovano za obdelavo polprevodniških rezin. Ta SiC Coating Epitaxy Susceptor ima ključno vlogo pri spodbujanju rasti tankih filmov, epilajerjev in drugih premazov ter lahko natančno nadzoruje temperaturo in lastnosti materiala. Pozdravljamo vaša nadaljnja povpraševanja.
CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor je vrstaMOCVD LED Epi susceptor, ki ima osrednjo vlogo v CVD reaktorju. Kot Epi Susceptor ni le vir toplote, ampak zagotavlja tudi stabilno podporno platformo za podlago med postopkom nanašanja.Prevleka SiClahko učinkovito zmanjša oksidacijo in kontaminacijo grafitnega susceptorja v visokotemperaturnih okoljih, s čimer zagotovi visoko čistost odloženega materiala.
Osnovnofizikalne lastnosti CVD SiC prevleke:
Osnovne fizikalne lastnosti CVD SiC prevleke
Lastnina
Tipična vrednost
Kristalna struktura
FCC β faza polikristalna, pretežno (111) usmerjena
Gostota
3,21 g/cm³
Trdota
2500 Vickers trdota(500g obremenitev)
Velikost zrn
2~10 μm
Kemijska čistost
99,99995 %
Toplotna zmogljivost
640 J·kg-1·K-1
Temperatura sublimacije
2700 ℃
Upogibna trdnost
415 MPa RT 4-točkovno
Youngov modul
430 Gpa 4-točkovni upogib, 1300 ℃
Toplotna prevodnost
300 W·m-1·K-1
Toplotna ekspanzija (CTE)
4,5×10-6K-1
Prednosti izdelka CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor:
● Natančno odlaganje: S CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor lahko dosežete natančno nadzorovano nanašanje tankih filmov in premazov za doseganje visokokakovostnih in ponovljivih rezultatov.
● Zmanjšana kontaminacija: SiC prevleka zmanjša tveganje kontaminacije zaradiEpi Suceptorna osnovi grafita, ki zagotavlja čistost deponiranega materiala.
● Vzdržljivost: Prevleka SiC poveča odpornost proti oksidaciji in odpornost proti kemični koroziji Graphite Epitaxy Susceptorja, kar mu daje daljšo življenjsko dobo in večjo zanesljivost.
VeTek Semiconductorje zavezan zagotavljanju visokokakovostnih izdelkov in konkurenčnih cen. Ali jeČe sprejemnik EPIali Graphite EPI susceptor visoke čistosti, lahko izpolnimo vaše potrebe. Veselimo se, da bomo lahko vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
VeTek SemiconductorCVD SiC Coating Epitaxy Susceptor Trgovine izdelkov: