Nosilec za čolne iz SiC rezin visoke čistosti

VeTek Semiconductor ponuja prilagojen nosilec za rezine SiC visoke čistosti. Izdelan je iz silicijevega karbida visoke čistosti in ima reže, ki držijo rezino na mestu in preprečujejo njeno drsenje med obdelavo. Po potrebi je na voljo tudi prevleka CVD SiC. Kot profesionalen in močan proizvajalec in dobavitelj polprevodnikov je nosilec za rezine SiC visoke čistosti VeTek Semiconductor cenovno konkurenčen in visokokakovosten. VeTek Semiconductor se veseli, da bo vaš dolgoročni partner na Kitajskem.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

VeTekSemi Nosilec rezin iz SiC visoke čistosti je pomembna nosilna komponenta, ki se uporablja v pečeh za žarjenje, difuzijskih pečeh in drugi opremi v procesu izdelave polprevodnikov. Nosilec za rezine SiC visoke čistosti je običajno izdelan iz materiala silicijevega karbida visoke čistosti in vključuje predvsem naslednje dele:

• Nosilno telo čolna: struktura, podobna nosilcu, ki se uporablja posebej za nošenjesilicijeve rezineali drugih polprevodniških materialov.

• Podporna struktura: Njegova podporna konstrukcija omogoča, da prenese težke obremenitve pri visokih temperaturah in se med visokotemperaturno obdelavo ne deformira ali poškoduje.

silicon carbide material

material iz silicijevega karbida

Fizikalne lastnostiRekristaliziran silicijev karbid：

Lastnina	Tipična vrednost
Delovna temperatura (°C)	1600°C (s kisikom), 1700°C (redukcijsko okolje)
Vsebnost SiC	> 99,96 %
Brezplačne Si vsebine	< 0,1 %
Nasipna gostota	2,60-2,70 g/cm3
Navidezna poroznost	< 16 %
Trdnost stiskanja	> 600 MPa
Hladna upogibna trdnost	80-90 MPa (20 °C)
Trdnost pri vročem upogibanju	90-100 MPa (1400 °C)
Toplotna ekspanzija pri 1500°C	4,70*10^-6/°C
Toplotna prevodnost @1200°C	23 W/m•K
Modul elastičnosti	Modul elastičnosti 240 GPa
Odpornost na toplotni udar	Izjemno dobro

Če so zahteve proizvodnega procesa višje,CVD SiC prevlekase lahko izvede na nosilcu za čolne iz SiC rezin visoke čistosti, da doseže čistost več kot 99,99995 %, kar dodatno izboljša njegovo odpornost na visoke temperature.

Osnovne fizikalne lastnosti CVD SiC prevleke:

Lastnina	Tipična vrednost
Kristalna struktura	FCC β faza polikristalna, pretežno (111) usmerjena
Gostota	3,21 g/cm³
Trdota	2500 Vickers trdota（500g obremenitev）
Velikost zrn	2~10 μm
Kemijska čistost	99,99995 %
Toplotna zmogljivost	640 J·kg^-1·K^-1
Temperatura sublimacije	2700 ℃
Upogibna trdnost	415 MPa RT 4-točkovno
Youngov modul	430 Gpa 4-točkovni upogib, 1300 ℃
Toplotna prevodnost	300 W·m^-1·K^-1
Toplotna ekspanzija (CTE)	4,5×10^-6K^-1

Med visokotemperaturno obdelavo nosilec čolna za rezine SiC visoke čistosti omogoča enakomerno segrevanje silicijeve rezine, da se prepreči lokalno pregrevanje. Poleg tega visoka temperaturna odpornost materiala iz silicijevega karbida omogoča ohranjanje strukturne stabilnosti pri temperaturah 1200 °C ali celo višjih. working principle of High purity SiC wafer boat carrier

Med postopkom difuzije ali žarjenja konzolno veslo in nosilec čolna iz SiC rezin visoke čistosti delujeta skupaj. Thekonzolno veslopočasi potisne nosilec rezin visoke čistosti SiC, ki nosi silicijeve rezine, v komoro peči in ga ustavi na določenem mestu za obdelavo.

Nosilec za rezine SiC visoke čistosti vzdržuje stik s silicijevimi rezinami in je pritrjen na določen položaj med postopkom toplotne obdelave, medtem ko konzolno veslo pomaga ohranjati celotno strukturo v pravilnem položaju, hkrati pa zagotavlja enakomernost temperature.

Nosilec za čoln z rezinami SiC visoke čistosti in konzolno veslo delujeta skupaj, da zagotovita natančnost in stabilnost visokotemperaturnega postopka.

VeTek Semiconductorvam zagotavlja prilagojen nosilec za čolne iz SiC rezin visoke čistosti glede na vaše potrebe. Veselimo se vašega povpraševanja.

VeTek SemiconductorTrgovine za prevoz čolnov na rezine SiC visoke čistosti:

VeTek Semiconductor High purity SiC wafer boat carrier shops

Hot Tags: Nosilec čolnov za rezine SiC visoke čistosti, Kitajska, proizvajalec, dobavitelj, tovarna, prilagojeno, nakup, napredno, vzdržljivo, izdelano na Kitajskem

Oznaka izdelka

Povezana kategorija