Vakuumska vpenjalna glava iz porozne keramike

Vetek Semiconductor je kitajski proizvajalec vakuumske vpenjalne glave iz porozne keramike, ki se uporablja za pritrditev in držanje silicijevih rezin ali drugih podlag z vakuumsko adsorpcijo, da se zagotovi, da se ti materiali med obdelavo ne premikajo ali zvijajo. Vetek Semiconducto lahko zagotovi izdelke iz porozne keramične vakuumske vpenjalne glave visoke čistosti z visoko stroškovno učinkovitostjo. Vabljeni k povpraševanju.

Vetek Semiconductor ponuja serijo odličnih izdelkov iz vakuumske vpenjalne glave iz porozne keramike, posebej zasnovanih za izpolnjevanje strogih zahtev sodobne proizvodnje polprevodnikov. Ti nosilci izkazujejo odlično zmogljivost glede čistoče, ravnosti in prilagodljive konfiguracije plinske poti.

Čistoča brez primere:

Odprava nečistoč: Vsaka vakuumska vpenjalna glava iz porozne keramike je sintrana pri 1200 °C 1,5 ure, da se popolnoma odstranijo nečistoče in zagotovi, da je površina čista kot nova.

Vakuumsko pakiranje: Za vzdrževanje čistega stanja je vakuumska vpenjalna glava iz porozne keramike vakuumsko pakirana, da se prepreči kontaminacija med shranjevanjem in transportom.

Odlična ravnost:

Adsorpcija trdnih rezin: Vakuumska vpenjalna glava iz porozne keramike vzdržuje adsorpcijsko silo -60kPa oziroma -70kPa pred in po namestitvi rezin, kar zagotavlja, da je rezina trdno adsorbirana in preprečuje, da bi odpadla med hitrim prenosom.

Natančna obdelava: Hrbtna stran nosilca je natančno obdelana, da se zagotovi popolnoma ravna površina, s čimer se ohranja stabilno vakuumsko tesnjenje in preprečuje puščanje.

Oblikovanje po meri:

Osredotočen na stranko: Vetek Semiconductor tesno sodeluje s strankami pri načrtovanju konfiguracij plinskih poti, ki izpolnjujejo njihove specifične procesne zahteve za optimizacijo učinkovitosti in zmogljivosti.

Strogo testiranje kakovosti:

Vetek izvaja obsežne teste vsakega kosa vakuumske vpenjalne glave iz poroznega SiC, da zagotovi njihovo kakovost:

Oksidacijski test: Vakuumska vpenjalna glava SiC se hitro segreje na 900 °C v okolju brez kisika, da simulira dejanski proces oksidacije. Pred tem se nosilec žari pri 1100°C, da se zagotovi optimalna učinkovitost.

Preskus kovinskih ostankov: Za preprečitev kontaminacije se nosilec segreje pri visoki temperaturi 1200 °C, da se zazna, ali so oborjene kovinske nečistoče.

Vakuumski test: Z merjenjem razlike v tlaku med vakuumsko vpenjalno glavo iz poroznega SiC z in brez rezine je njena učinkovitost vakuumskega tesnjenja strogo testirana. Tlačno razliko je treba nadzorovati znotraj ±2kPa.

Tabela značilnosti vakuumske vpenjalne glave iz porozne keramike:

VeTek Semiconductor Porous SiC Vacuum Chuck trgovine: