VeTek Semiconductor's PSS Etching Carrier Plate for Semiconductor je visokokakovosten, izjemno čist grafitni nosilec, zasnovan za postopke ravnanja z rezinami. Naši nosilci imajo odlično zmogljivost in se lahko dobro obnesejo v težkih okoljih, visokih temperaturah in zahtevnih pogojih kemičnega čiščenja. Naši izdelki se pogosto uporabljajo na številnih evropskih in ameriških trgih in veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Kot profesionalni proizvajalec vam želimo zagotoviti visokokakovostno nosilno ploščo za jedkanje PSS za polprevodnike. VeTek Semiconductor's PSS Etching Carrier Plate for Semiconductor je specializirana komponenta, ki se uporablja v industriji polprevodnikov za proces jedkanja spektroskopije izvora plazme (PSS). Ta plošča igra ključno vlogo pri podpiranju in prenašanju polprevodniških rezin med postopkom jedkanja. Dobrodošli, da nas povprašate!
Natančna zasnova: Nosilna plošča je zasnovana z natančnimi merami in ravnostjo površine, da zagotovi enakomerno in dosledno jedkanje po polprevodniških rezinah. Zagotavlja stabilno in nadzorovano platformo za rezine, kar omogoča natančne in zanesljive rezultate jedkanja.
Odpornost na plazmo: Nosilna plošča kaže odlično odpornost na plazmo, uporabljeno v procesu jedkanja. Nanj ne vplivajo reaktivni plini in visokoenergijska plazma, kar zagotavlja podaljšano življenjsko dobo in dosledno delovanje.
Toplotna prevodnost: nosilna plošča ima visoko toplotno prevodnost za učinkovito odvajanje toplote, ki nastane med postopkom jedkanja. To pomaga vzdrževati optimalen nadzor temperature in preprečuje pregrevanje polprevodniških rezin.
Združljivost: Nosilna plošča za jedkanje PSS je zasnovana tako, da je združljiva z različnimi velikostmi polprevodniških rezin, ki se običajno uporabljajo v industriji, kar zagotavlja vsestranskost in enostavnost uporabe v različnih proizvodnih procesih.
Osnovne fizikalne lastnosti CVD SiC prevleke | |
Lastnina | Tipična vrednost |
Kristalna struktura | FCC β faza polikristalna, pretežno (111) usmerjena |
Gostota | 3,21 g/cm³ |
Trdota | 2500 Vickers trdota(500g obremenitev) |
Velikost zrn | 2~10 μm |
Kemijska čistost | 99,99995 % |
Toplotna zmogljivost | 640 J·kg-1·K-1 |
Temperatura sublimacije | 2700 ℃ |
Upogibna trdnost | 415 MPa RT 4-točkovno |
Youngov modul | 430 Gpa 4-točkovni upogib, 1300 ℃ |
Toplotna prevodnost | 300 W·m-1·K-1 |
Toplotna ekspanzija (CTE) | 4,5×10-6K-1 |