Nosilec za jedkanje ICP s prevleko iz SiC

Z dolgoletnimi izkušnjami pri proizvodnji nosilca za jedkanje ICP s prevleko iz SiC lahko VeTek Semiconductor dobavi široko paletoPrevlečen s SiCozTaC prevlečenrezervni deli za industrijo polprevodnikov. Poleg spodnjega seznama izdelkov lahko prilagodite tudi svoje edinstvene dele, prevlečene s SiC ali TaC, glede na vaše specifične potrebe. Dobrodošli, da nam povprašujete.

VeTek Semiconductor's SiC Coated ICP Etching Carrier, poznan tudi kot nosilci ICP, nosilci PSS, nosilci RTP ali nosilci RTP, so pomembne komponente, ki se uporabljajo v različnih aplikacijah v industriji polprevodnikov. Grafit, prevlečen s silicijevim karbidom, je primarni material, ki se uporablja za izdelavo teh nosilcev toka. Ima visoko toplotno prevodnost, več kot 10-krat večjo od toplotne prevodnosti safirnega substrata. Ta lastnost, skupaj z visoko električno poljsko jakostjo valja in največjo gostoto toka, je spodbudila raziskovanje silicijevega karbida kot možne zamenjave za silicij v različnih aplikacijah, zlasti v polprevodniških komponentah visoke moči. Nosilne plošče SiC imajo visoko toplotno prevodnost, zaradi česar so idealne zaLED proizvodni procesi. 

Zagotavljajo učinkovito odvajanje toplote in zagotavljajo odlično električno prevodnost, kar prispeva k proizvodnji visoko zmogljivih led diod. Poleg tega imajo te nosilne plošče odličneodpornost proti plazmiin dolgo življenjsko dobo, ki zagotavlja zanesljivo delovanje in življenjsko dobo v zahtevnem okolju proizvodnje polprevodnikov.