Tehnologija termičnega brizganja polprevodnikov

Tehnologija polprevodniškega termičnega razprševanja je napreden postopek, ki razprši materiale v staljenem ali polstaljenem stanju na površino substrata, da se oblikuje premaz. Ta tehnologija se pogosto uporablja na področju proizvodnje polprevodnikov, predvsem za ustvarjanje premazov s posebnimi funkcijami na površini substrata, kot so prevodnost, izolacija, odpornost proti koroziji in odpornost proti oksidaciji. Glavne prednosti tehnologije termičnega brizganja vključujejo visoko učinkovitost, nadzorovano debelino prevleke in dober oprijem prevleke, zaradi česar je še posebej pomembna v procesu izdelave polprevodnikov, ki zahteva visoko natančnost in zanesljivost.

Uporaba tehnologije termičnega razprševanja v polprevodnikih

Jedkanje s plazemskim žarkom (suho jedkanje)

Običajno se nanaša na uporabo žarečega praznjenja za ustvarjanje plazemskih aktivnih delcev, ki vsebujejo nabite delce, kot so plazma in elektroni ter zelo kemično aktivne nevtralne atome in molekule ter proste radikale, ki difundirajo na del, ki ga jedkamo, reagiramo z jedkanim materialom in tvorimo hlapljive izdelkov in se odstranijo, s čimer se zaključi tehnologija jedkanja prenosa vzorca. Je nenadomestljiv postopek za uresničitev prenosa finih vzorcev visoke ločljivosti iz fotolitografskih šablon na rezine pri izdelavi izjemno velikih integriranih vezij.

Nastalo bo veliko število aktivnih prostih radikalov, kot sta Cl in F. Ko jedkajo polprevodniške naprave, razjedajo notranje površine drugih delov opreme, vključno z aluminijevimi zlitinami in keramičnimi strukturnimi deli. Ta močna erozija proizvaja veliko število delcev, kar ne zahteva le pogostega vzdrževanja proizvodne opreme, ampak povzroči tudi okvaro procesne komore za jedkanje in v hujših primerih poškodbe naprave.

Y2O3 je material z zelo stabilnimi kemičnimi in toplotnimi lastnostmi. Njegovo tališče je daleč nad 2400 ℃. Lahko ostane stabilen v močnem korozivnem okolju. Njegova odpornost na plazemsko bombardiranje lahko močno podaljša življenjsko dobo komponent in zmanjša število delcev v komori za jedkanje.

Glavna rešitev je razprševanje prevleke Y2O3 visoke čistosti za zaščito komore za jedkanje in drugih ključnih komponent.