Globinski UV LED sprejemnik, prevlečen s SiC

SiC prevlečen globinski UV LED sprejemnik je jedrna nosilna komponenta vMOCVD (metal organic chemical vapour deposition) oprema. Susceptor neposredno vpliva na enotnost, nadzor debeline in kakovost materiala globoke epitaksialne rasti UV LED, zlasti pri rasti epitaksialne plasti aluminijevega nitrida (AlN) z visoko vsebnostjo aluminija sta zasnova in zmogljivost susceptorja ključnega pomena.

Globinski UV LED-suceptor, prevlečen s SiC, je posebej optimiziran za globoko UV-LED epitaksijo in je natančno zasnovan na podlagi toplotnih, mehanskih in kemičnih okoljskih značilnosti, da izpolnjuje stroge procesne zahteve.

VeTek Semiconductoruporablja napredno tehnologijo obdelave, da zagotovi enakomerno porazdelitev toplote suceptorja znotraj delovnega temperaturnega območja, pri čemer se izogne ​​neenakomerni rasti epitaksialne plasti, ki jo povzroča temperaturni gradient. Natančna obdelava nadzira površinsko hrapavost, zmanjša kontaminacijo z delci in izboljša učinkovitost toplotne prevodnosti stika s površino rezin.

VeTek Semiconductorkot material uporablja SGL grafit, površina pa je obdelana zCVD SiC prevleka, ki lahko dolgo časa prenese NH3, HCl in visokotemperaturno atmosfero. VeTek Semiconductor's SiC prevlečen globoki UV LED suceptor se ujema s koeficientom toplotnega raztezanja epitaksialnih rezin AlN/GaN, kar zmanjšuje upogibanje ali razpoke rezin, ki jih povzroči toplotna obremenitev med postopkom.

Najpomembneje je, da se globoki UV LED-suceptor podjetja VeTek Semiconductor popolnoma prilagodi glavni opremi MOCVD (vključno z Veeco K465i, EPIK 700, Aixtron Crius itd.). Podpira prilagojene storitve za velikost rezin (2~8 palcev), obliko reže za rezine, temperaturo postopka in druge zahteve.

Scenariji uporabe:

● Globoka UV LED priprava: Uporablja se za epitaksialni postopek naprav v pasu pod 260 nm (UV-C dezinfekcija, sterilizacija in druga področja).

● Nitridna polprevodniška epitaksija: Uporablja se za epitaksialno pripravo polprevodniških materialov, kot sta galijev nitrid (GaN) in aluminijev nitrid (AlN).

● Epitaksialni poskusi na raziskovalni ravni: Globoka UV epitaksija in poskusi razvoja novih materialov na univerzah in raziskovalnih ustanovah.

S podporo močne tehnične ekipe je VeTek Semiconductor sposoben razviti sprejemnike z edinstvenimi specifikacijami in funkcijami v skladu s potrebami kupcev, podpirati specifične proizvodne procese in zagotavljati dolgoročne storitve.

PODATKI SEM CVD SIC PREVLAČNEGA FILMA:

Osnovne fizikalne lastnosti CVD SiC prevleke:

VeTek SemiconductorTrgovine z izdelki globoko UV LED-sprejemnikov, prevlečenih s SiC: