SiC prevlečen grafitni sod susceptor za EPI

VeTek Semiconductor je proizvajalec in dobavitelj na Kitajskem, ki z dolgoletnimi izkušnjami v glavnem proizvaja grafitne cevi, prevlečene s SiC, za EPI. Upam, da bomo zgradili poslovni odnos z vami. EPI (epitaksija) je kritičen proces pri izdelavi naprednih polprevodnikov. Vključuje nanos tankih plasti materiala na substrat za ustvarjanje kompleksnih struktur naprave. Grafitni sod za EPI, prevlečen s SiC, se zaradi svoje odlične toplotne prevodnosti in odpornosti na visoke temperature običajno uporablja kot susceptor v EPI reaktorjih. S CVD-SiC prevleko postane bolj odporen na kontaminacijo, erozijo in toplotni šok. Posledica tega je daljša življenjska doba suceptorja in izboljšana kakovost filma.

Prednosti našega susceptorja iz grafitnega soda, prevlečenega s SiC:

Zmanjšana kontaminacija: SiC-jeva inertna narava preprečuje, da bi se nečistoče oprijele na površino sprejemnika, kar zmanjšuje tveganje kontaminacije nanesenih filmov.

Povečana odpornost proti eroziji: SiC je znatno bolj odporen na erozijo kot običajni grafit, kar vodi do daljše življenjske dobe suceptorja.

Izboljšana toplotna stabilnost: SiC ima odlično toplotno prevodnost in lahko prenese visoke temperature brez znatnega popačenja.

Izboljšana kakovost filma: Izboljšana toplotna stabilnost in zmanjšana kontaminacija povzročita nanešene filme višje kakovosti z izboljšano enotnostjo in nadzorom debeline.

Aplikacije:

Suceptorji z grafitnimi sodi, prevlečeni s SiC, se pogosto uporabljajo v različnih aplikacijah EPI, vključno z:

LED na osnovi GaN

Močnostna elektronika

Optoelektronske naprave

Visokofrekvenčni tranzistorji

Senzorji

Parameter izdelka grafitnega soda s prevleko iz SiC

Opomba: Pred nanosom premaza bomo opravili prvo čiščenje, po nanosu premaza pa drugo čiščenje.

VeTek Semiconductor Production Shop