Prevleka za palačinke, prevlečena s SiC, za rezine LPE PE3061S 6''

VeTek Semiconductor je vodilni proizvajalec in inovator prevleke za palačinke s SiC prevleko za rezine LPE PE3061S 6'' na Kitajskem. Že vrsto let smo specializirani za prevlečne materiale iz SiC. Ponujamo prevleko za palačinke s prevleko SiC, zasnovano posebej za 6" rezine LPE PE3061S . Ta epitaksialni sprejemnik ima visoko korozijsko odpornost, dobro toplotno prevodnost in dobro enotnost. Vabimo vas, da obiščete našo tovarno na Kitajskem.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Kot profesionalni proizvajalec bi vam VeTek Semiconductor želel ponuditi visokokakovosten nastavek za palačinke s prevleko iz SiC za rezine LPE PE3061S 6''.

VeTeK Semiconductor SiC Coated Pancake Susceptor za rezine LPE PE3061S 6" je kritična oprema, ki se uporablja v procesih proizvodnje polprevodnikov.

Prevleka za palačinke s SiC prevleko za rezine LPE PE3061S 6" Lastnosti izdelka:

Visokotemperaturna stabilnost: SiC kaže odlično visokotemperaturno stabilnost, ohranja svojo strukturo in delovanje v visokotemperaturnih okoljih.

Izjemna toplotna prevodnost: SiC ima izjemno toplotno prevodnost, ki omogoča hiter in enakomeren prenos toplote za hitro in enakomerno segrevanje.

Odpornost proti koroziji: SiC ima odlično kemično stabilnost, odporen proti koroziji in oksidaciji v različnih okoljih ogrevanja.

Enakomerna porazdelitev segrevanja: Nosilec rezin, prevlečen s SiC, zagotavlja enakomerno porazdelitev segrevanja, kar zagotavlja enakomerno temperaturo po površini rezine med segrevanjem.

Primeren za proizvodnjo polprevodnikov: nosilec rezin za epitaksijo Si se pogosto uporablja v postopkih izdelave polprevodnikov, zlasti za rast epitaksije Si in druge postopke visokotemperaturnega segrevanja.

Prednosti izdelka:

Izboljšana proizvodna učinkovitost: S SiC prevlečenim palačinkarjem omogoča hitro in enakomerno segrevanje, skrajšanje časa segrevanja in povečanje učinkovitosti proizvodnje.

Zagotovljena kakovost izdelka: Enakomerna porazdelitev segrevanja zagotavlja doslednost med obdelavo rezin, kar vodi do izboljšane kakovosti izdelka.

Podaljšana življenjska doba opreme: material SiC ponuja odlično toplotno odpornost in kemično stabilnost, kar prispeva k daljši življenjski dobi prijemala za palačinke.

Rešitve po meri: suceptor, prevlečen s SiC, nosilec rezin SiC za epitaksijo je mogoče prilagoditi različnim velikostim in specifikacijam glede na zahteve kupcev.

SEM data and structure of CVD SIC films

Osnovne fizikalne lastnosti CVD SiC prevleke:

Osnovne fizikalne lastnosti CVD SiC prevleke
Lastnina	Tipična vrednost
Kristalna struktura	FCC β faza polikristalna, pretežno (111) usmerjena
Gostota	3,21 g/cm³
Trdota	2500 Vickers trdota（500g obremenitev）
Velikost zrn	2~10 μm
Kemijska čistost	99,99995 %
Toplotna zmogljivost	640 J·kg-1·K-1
Temperatura sublimacije	2700 ℃
Upogibna trdnost	415 MPa RT 4-točkovno
Youngov modul	430 Gpa 4-točkovni upogib, 1300 ℃
Toplotna prevodnost	300 W·m-1·K-1
Toplotna ekspanzija (CTE)	4,5×10-6K-1

VeTek Semiconductor Production Shop

Pregled industrijske verige epitaksije polprevodniških čipov:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain

Hot Tags: Prevleka za palačinke s prevleko iz SiC za rezine LPE PE3061S 6'', Kitajska, proizvajalec, dobavitelj, tovarna, prilagojeno, nakup, napredno, vzdržljivo, izdelano na Kitajskem

Oznaka izdelka

Povezana kategorija