SiC prevleka za rezine

Podjetje Vetek Semiconductor je specializirano za proizvodnjo in dobavo visoko zmogljivih nosilcev rezin s prevleko SiC in je zavezano zagotavljanju napredne tehnologije in proizvodnih rešitev za industrijo polprevodnikov.

V proizvodnji polprevodnikov je nosilec rezin s prevleko SiC podjetja Vetek Semiconductor ključna komponenta v opremi za kemično naparjevanje (CVD), zlasti v opremi za kemično naparjevanje (MOCVD). Njegova glavna naloga je podpirati in segrevati monokristalni substrat, tako da lahko epitaksialna plast enakomerno raste. To je bistveno za proizvodnjo visokokakovostnih polprevodniških naprav.

Odpornost proti koroziji SiC prevleke je zelo dobra, kar lahko učinkovito zaščiti grafitno osnovo pred jedkimi plini. To je še posebej pomembno pri visokih temperaturah in korozivnih okoljih. Poleg tega je tudi toplotna prevodnost materiala SiC zelo odlična, kar lahko enakomerno prevaja toploto in zagotavlja enakomerno porazdelitev temperature, s čimer se izboljša kakovost rasti epitaksialnih materialov.

Prevleka SiC ohranja kemično stabilnost pri visoki temperaturi in korozivni atmosferi, s čimer se izognemo problemu okvare prevleke. Še pomembneje je, da je koeficient toplotnega raztezanja SiC podoben koeficientu grafita, s čimer se je mogoče izogniti problemu luščenja prevleke zaradi toplotnega raztezanja in krčenja ter zagotoviti dolgoročno stabilnost in zanesljivost prevleke.

Osnovne fizikalne lastnostiSiC prevleka za rezine:

Proizvodna trgovina:

Pregled verige industrije epitaksije polprevodniških čipov: