Kitajska Nadomestni deli za proces rasti monokristalov SiC Proizvajalec, dobavitelj, tovarna

Izdelek VeTek Semiconductor, izdelki za prevleko iz tantalovega karbida (TaC) za proces rasti monokristalov SiC, obravnavajo izzive, povezane z vmesnikom rasti kristalov silicijevega karbida (SiC), zlasti obsežnimi napakami, ki se pojavijo na robu kristala. Z nanosom TaC prevleke želimo izboljšati kvaliteto rasti kristalov in povečati efektivno površino središča kristala, kar je ključnega pomena za doseganje hitre in debele rasti.

Prevleka TaC je temeljna tehnološka rešitev za rast visokokakovostnega SiC monokristala. Uspešno smo razvili tehnologijo nanosa TaC s kemičnim naparjevanjem (CVD), ki je dosegla mednarodno napredno raven. TaC ima izjemne lastnosti, vključno z visokim tališčem do 3880 °C, odlično mehansko trdnostjo, trdoto in odpornostjo na toplotne šoke. Prav tako kaže dobro kemično inertnost in toplotno stabilnost, kadar je izpostavljen visokim temperaturam in snovem, kot so amoniak, vodik in para, ki vsebuje silicij.

Prevleka iz tantalovega karbida (TaC) družbe VeTek Semiconductor ponuja rešitev za reševanje težav, povezanih z robovi, v procesu rasti monokristalov SiC, s čimer izboljša kakovost in učinkovitost procesa rasti. Z našo napredno tehnologijo prevlek TaC želimo podpreti razvoj industrije polprevodnikov tretje generacije in zmanjšati odvisnost od uvoženih ključnih materialov.

Metoda PVT SiC Rezervni deli procesa rasti monokristalov:

Lonček s prevleko iz TaC, držalo za seme s prevleko iz TaC, vodilni obroč s prevleko iz TaC so pomembni deli v enokristalni peči na SiC in AIN po metodi PVT.

Ključna lastnost:

-Odpornost na visoke temperature

-Visoka čistost, ne bo onesnažila surovin SiC in monokristalov SiC.

-Odporen na Al paro in N₂korozijo

-Visoka evtektična temperatura (z AlN) za skrajšanje cikla priprave kristalov.

-Možnost recikliranja (do 200 ur), izboljša trajnost in učinkovitost priprave takšnih monokristalov.

Značilnosti prevleke TaC

Tipične fizikalne lastnosti premaza Tac

Odvodni obroč, prevlečen s tantalovim karbidom Vodilni obroč za premaz TaC TaC prevlečni obroč Plošča, prevlečena s tantalovim karbidom TaC prevlečen kos TaC prevleka Tube