domov > Izdelki > Prevleka iz silicijevega karbida

Kitajska Prevleka iz silicijevega karbida Proizvajalec, dobavitelj, tovarna

VeTek Semiconductor je specializiran za proizvodnjo izdelkov iz ultra čistega silicijevega karbida, ti premazi so zasnovani za nanašanje na prečiščen grafit, keramiko in ognjevzdržne kovinske komponente.

Naši premazi visoke čistosti so namenjeni predvsem uporabi v polprevodniški in elektronski industriji. Služijo kot zaščitna plast za nosilce rezin, suceptorje in grelne elemente ter jih ščitijo pred jedkimi in reaktivnimi okolji, do katerih pride v procesih, kot sta MOCVD in EPI. Ti procesi so sestavni del obdelave rezin in izdelave naprav. Poleg tega so naši premazi zelo primerni za uporabo v vakuumskih pečeh in segrevanje vzorcev, kjer se srečujemo z visokim vakuumom, reaktivnim okoljem in okoljem s kisikom.

Pri VeTek Semiconductor ponujamo celovito rešitev z našimi naprednimi zmogljivostmi strojne delavnice. To nam omogoča izdelavo osnovnih komponent z uporabo grafita, keramike ali ognjevzdržnih kovin in lastno nanašanje keramičnih prevlek SiC ali TaC. Nudimo tudi storitve premazovanja za dele, ki jih dobavljajo stranke, s čimer zagotavljamo prilagodljivost za izpolnjevanje različnih potreb.

Naši izdelki s prevleko iz silicijevega karbida se pogosto uporabljajo v Si epitaksiji, SiC epitaksiji, sistemu MOCVD, procesu RTP/RTA, postopku jedkanja, postopku jedkanja ICP/PSS, procesu različnih vrst LED, vključno z modro in zeleno LED, UV LED in globokim UV LED itd., ki je prilagojen opremi LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI itd.


Deli reaktorja, ki jih lahko naredimo:

Aixtron G5,EPI susceptor,MOCVD susceptor


Prevleka iz silicijevega karbida ima več edinstvenih prednosti:

Silicon Carbide Coating several unique advantages


Parameter prevleke iz silicijevega karbida VeTek Semiconductor:

Osnovne fizikalne lastnosti CVD SiC prevleke
Lastnina Tipična vrednost
Kristalna struktura FCC β faza polikristalna, pretežno (111) usmerjena
Gostota 3,21 g/cm³
Trdota 2500 Vickers trdota(500g obremenitev)
Velikost zrn 2~10 μm
Kemijska čistost 99,99995 %
Toplotna zmogljivost 640 J·kg-1·K-1
Temperatura sublimacije 2700 ℃
Upogibna trdnost 415 MPa RT 4-točkovno
Youngov modul 430 Gpa 4-točkovni upogib, 1300 ℃
Toplotna prevodnost 300 W·m-1·K-1
Toplotna ekspanzija (CTE) 4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films


View as  
 
Solid SiC plinska glava za tuširanje

Solid SiC plinska glava za tuširanje

VeTek Semiconductor je vodilni proizvajalec in inovator Solid SiC Gas Tuš glave na Kitajskem. Že vrsto let smo specializirani za polprevodniške materiale. VeTek Semiconductor Solid SiC Gas Tuš glava z več poroznostjo zagotavlja, da se lahko toplota, ustvarjena v procesu CVD, razprši. , ki zagotavlja enakomerno segrevanje podlage. Veselimo se dolgoročne vzpostavitve z vami na Kitajskem.

Preberi večPošlji povpraševanje
Obroč robov iz trdnega SiC postopka kemičnega naparjevanja

Obroč robov iz trdnega SiC postopka kemičnega naparjevanja

VeTek Semiconductor je vodilni proizvajalec in inovator na Kitajskem za obdelavo robov iz trdnega SiC v postopku kemičnega naparjevanja. Že vrsto let smo specializirani za polprevodniške materiale. VeTek Semiconductor robni obroč iz trdnega SiC nudi izboljšano enakomernost jedkanja in natančno pozicioniranje rezin pri uporabi z elektrostatično vpenjalno glavo. , ki zagotavlja dosledne in zanesljive rezultate jedkanja. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.

Preberi večPošlji povpraševanje
Fokusni obroč za jedkanje iz trdnega SiC

Fokusni obroč za jedkanje iz trdnega SiC

VeTek Semiconductor je vodilni proizvajalec in inovator fokusirnega obroča Solid SiC Etching na Kitajskem. Že vrsto let smo specializirani za material SiC. Solid SiC je izbran kot material obroča za fokusiranje zaradi svoje odlične termokemične stabilnosti, visoke mehanske trdnosti in odpornosti proti plazmi erozije. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.

Preberi večPošlji povpraševanje
Kot profesionalni Prevleka iz silicijevega karbida proizvajalec in dobavitelj na Kitajskem imamo lastno tovarno. Ne glede na to, ali potrebujete prilagojene storitve za izpolnjevanje posebnih potreb vaše regije ali želite kupiti napredno in vzdržljivo Prevleka iz silicijevega karbida, izdelano na Kitajskem, nam lahko pustite sporočilo.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept