domov > Izdelki > Prevleka iz silicijevega karbida

Kitajska Prevleka iz silicijevega karbida Proizvajalec, dobavitelj, tovarna

VeTek Semiconductor je specializiran za proizvodnjo izdelkov iz ultra čistega silicijevega karbida, ti premazi so zasnovani za nanašanje na prečiščen grafit, keramiko in ognjevzdržne kovinske komponente.

Naši premazi visoke čistosti so namenjeni predvsem uporabi v polprevodniški in elektronski industriji. Služijo kot zaščitna plast za nosilce rezin, suceptorje in grelne elemente ter jih ščitijo pred jedkimi in reaktivnimi okolji, do katerih pride v procesih, kot sta MOCVD in EPI. Ti procesi so sestavni del obdelave rezin in izdelave naprav. Poleg tega so naši premazi zelo primerni za uporabo v vakuumskih pečeh in segrevanje vzorcev, kjer se srečujemo z visokim vakuumom, reaktivnim okoljem in okoljem s kisikom.

Pri VeTek Semiconductor ponujamo celovito rešitev z našimi naprednimi zmogljivostmi strojne delavnice. To nam omogoča izdelavo osnovnih komponent z uporabo grafita, keramike ali ognjevzdržnih kovin in lastno nanašanje keramičnih prevlek SiC ali TaC. Nudimo tudi storitve premazovanja za dele, ki jih dobavljajo stranke, s čimer zagotavljamo prilagodljivost za izpolnjevanje različnih potreb.

Naši izdelki s prevleko iz silicijevega karbida se pogosto uporabljajo v Si epitaksiji, SiC epitaksiji, sistemu MOCVD, procesu RTP/RTA, postopku jedkanja, postopku jedkanja ICP/PSS, procesu različnih vrst LED, vključno z modro in zeleno LED, UV LED in globokim UV LED itd., ki je prilagojen opremi LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI itd.


Deli reaktorja, ki jih lahko naredimo:

Aixtron G5,EPI susceptor,MOCVD susceptor


Prevleka iz silicijevega karbida ima več edinstvenih prednosti:

Silicon Carbide Coating several unique advantages


Parameter prevleke iz silicijevega karbida VeTek Semiconductor:

Osnovne fizikalne lastnosti CVD SiC prevleke
Lastnina Tipična vrednost
Kristalna struktura FCC β faza polikristalna, pretežno (111) usmerjena
Gostota 3,21 g/cm³
Trdota 2500 Vickers trdota(500g obremenitev)
Velikost zrn 2~10 μm
Kemijska čistost 99,99995 %
Toplotna zmogljivost 640 J·kg-1·K-1
Temperatura sublimacije 2700 ℃
Upogibna trdnost 415 MPa RT 4-točkovno
Youngov modul 430 Gpa 4-točkovni upogib, 1300 ℃
Toplotna prevodnost 300 W·m-1·K-1
Toplotna ekspanzija (CTE) 4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films


View as  
 
Zgornji polmesečni del prevlečen s SiC

Zgornji polmesečni del prevlečen s SiC

VeTek Semiconductor je vodilni dobavitelj prilagojenega zgornjega polmesečnega dela SiC na Kitajskem, specializiran za napredne materiale že več kot 20 let. VeTek Semiconductor Upper Halfmoon Part SiC prevlečen je posebej zasnovan za SiC epitaksialno opremo, ki služi kot ključna komponenta v reakcijski komori. Narejen je iz izjemno čistega grafita polprevodniškega razreda in zagotavlja odlično delovanje. Vabimo vas, da obiščete našo tovarno na Kitajskem.

Preberi večPošlji povpraševanje
Nosilec rezin iz silicijevega karbida epitaksije

Nosilec rezin iz silicijevega karbida epitaksije

VeTek Semiconductor je vodilni dobavitelj prilagojenih nosilcev rezin iz silicijevega karbida za epitaksijo na Kitajskem. Specializirani smo za napredne materiale že več kot 20 let. Ponujamo nosilec za rezine iz silicijevega karbida za epitaksijo za prenašanje substrata SiC, rastoča plast epitaksije SiC v epitaksialnem reaktorju SiC. Ta nosilec rezin iz silicijevega karbida je pomemben del polmeseca, prevlečen s SiC, odporen na visoke temperature, odpornost proti oksidaciji in obrabo. Pozdravljamo vas, da obiščete našo tovarno na Kitajskem.

Preberi večPošlji povpraševanje
MOCVD susceptor s prevleko iz SiC

MOCVD susceptor s prevleko iz SiC

VeTek Semiconductor's SiC Coated MOCVD Susceptor je naprava z odličnim procesom, vzdržljivostjo in zanesljivostjo. Lahko prenesejo visoke temperature in kemična okolja, ohranijo stabilno delovanje in dolgo življenjsko dobo, s čimer se zmanjša pogostost zamenjave in vzdrževanja ter izboljša učinkovitost proizvodnje. Naš epitaksialni susceptor MOCVD je znan po svoji visoki gostoti, odlični ravnosti in odličnem toplotnem nadzoru, zaradi česar je prednostna oprema v težkih proizvodnih okoljih. Veselimo se sodelovanja z vami.

Preberi večPošlji povpraševanje
Nosilec za jedkanje ICP s prevleko iz SiC

Nosilec za jedkanje ICP s prevleko iz SiC

VeTek Semiconductor's SiC Coated ICP Etching Carrier je zasnovan za najzahtevnejše aplikacije opreme za epitaksijo. Naš nosilec za jedkanje ICP s prevleko iz SiC, izdelan iz visokokakovostnega ultra čistega grafitnega materiala, ima zelo ravno površino in odlično odpornost proti koroziji, da prenese težke pogoje med rokovanjem. Visoka toplotna prevodnost nosilca, prevlečenega s SiC, zagotavlja enakomerno porazdelitev toplote za odlične rezultate jedkanja. VeTek Semiconductor se veseli dolgoročnega partnerstva z vami.

Preberi večPošlji povpraševanje
Nosilna plošča za jedkanje PSS za polprevodnike

Nosilna plošča za jedkanje PSS za polprevodnike

VeTek Semiconductor's PSS Etching Carrier Plate for Semiconductor je visokokakovosten, izjemno čist grafitni nosilec, zasnovan za postopke ravnanja z rezinami. Naši nosilci imajo odlično zmogljivost in se lahko dobro obnesejo v težkih okoljih, visokih temperaturah in zahtevnih pogojih kemičnega čiščenja. Naši izdelki se pogosto uporabljajo na številnih evropskih in ameriških trgih in veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.

Preberi večPošlji povpraševanje
Susceptor za hitro termično žarjenje

Susceptor za hitro termično žarjenje

VeTek Semiconductor je vodilni proizvajalec in inovator na Kitajskem za hitro termično žarjenje. Že vrsto let smo specializirani za prevleke iz SiC. Ponujamo visokokakovostne, visokotemperaturne odpornosti in super tanke sprejemnike za hitro toplotno žarjenje. Vabimo vas, da obiščete našo tovarna na Kitajskem.

Preberi večPošlji povpraševanje
Kot profesionalni Prevleka iz silicijevega karbida proizvajalec in dobavitelj na Kitajskem imamo lastno tovarno. Ne glede na to, ali potrebujete prilagojene storitve za izpolnjevanje posebnih potreb vaše regije ali želite kupiti napredno in vzdržljivo Prevleka iz silicijevega karbida, izdelano na Kitajskem, nam lahko pustite sporočilo.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept