Silikonski podstavek

VeTek Semiconductor silicon susceptor je izdelek iz čistega silicija, zasnovan za zagotavljanje temperaturne stabilnosti v cevi termičnega reaktorja med obdelavo silicijevih rezin, s čimer se izboljša učinkovitost toplotne izolacije. Obdelava silicijeve rezine je izjemno natančen postopek, temperatura pa igra ključno vlogo, saj neposredno vpliva na debelino in enakomernost filma silicijeve rezine.

Silicijev podstavek je nameščen v spodnjem delu cevi toplotnega reaktorja peči in podpira silicij.nosilec rezinhkrati zagotavlja učinkovito toplotno izolacijo. Na koncu procesa se skupaj z nosilcem silicijeve rezine postopoma ohladi na sobno temperaturo.

Glavne funkcije in prednosti silicijevih podstavkov VeTek Semiconductor:

Zagotovite stabilno podporo za zagotovitev natančnosti procesa

Silikonski podstavek zagotavlja stabilno in visoko toplotno odporno podporno platformo za silikonski čoln v komori visokotemperaturne peči. Ta stabilnost lahko učinkovito prepreči premikanje ali nagibanje silikonskega čolna med obdelavo, s čimer se izogne ​​vplivanju na enakomernost zračnega toka ali uničenju porazdelitve temperature, kar zagotavlja visoko natančnost in doslednost postopka.

Izboljšajte enakomernost temperature v peči in izboljšajte kakovost rezin

Z izolacijo silikonskega čolna od neposrednega stika z dnom ali steno peči lahko silicijeva osnova zmanjša izgubo toplote zaradi prevodnosti in tako doseže enakomernejšo porazdelitev temperature v toplotni reakcijski cevi. To enakomerno toplotno okolje je bistvenega pomena za doseganje enotnosti difuzije rezin in oksidne plasti, kar močno izboljša splošno kakovost rezin.

Optimizirajte učinkovitost toplotne izolacije in zmanjšajte porabo energije

Odlične lastnosti toplotne izolacije silicijevega osnovnega materiala pomagajo zmanjšati toplotne izgube v komori peči in s tem bistveno izboljšati energetsko učinkovitost procesa. Ta učinkovit mehanizem za upravljanje toplote ne le pospeši cikel ogrevanja in hlajenja, ampak tudi zmanjša porabo energije in obratovalne stroške, kar zagotavlja bolj ekonomično rešitev za proizvodnjo polprevodnikov.

Specifikacije silicijevega podstavka VeTek Semiconductor

VeTek Semiconductor Silicon Pedestal proizvodne delavnice