Kitajska Trden silicijev karbid Proizvajalec, dobavitelj, tovarna

VeTek Semiconductor Solid Silicon Carbide je pomembna keramična komponenta v opremi za plazemsko jedkanje, trdni silicijev karbid (CVD silicijev karbid) vključuje dele opreme za jedkanjeobroči za fokusiranje, plinska prha, pladenj, robni obroči itd. Zaradi nizke reaktivnosti in prevodnosti trdnega silicijevega karbida (CVD silicijevega karbida) na pline za jedkanje, ki vsebujejo klor in fluor, je idealen material za obroče za fokusiranje opreme za plazemsko jedkanje in drugo komponente.

Fokusni obroč je na primer pomemben del, nameščen zunaj rezine in v neposrednem stiku z rezino, z uporabo napetosti na obroču za fokusiranje plazme, ki prehaja skozi obroč, in s tem fokusira plazmo na rezino za izboljšanje enakomernosti predelava. Tradicionalni fokusni obroč je narejen iz silikona ozkremen, prevodni silicij kot običajen material obroča za fokus, je skoraj blizu prevodnosti silicijevih rezin, vendar je pomanjkanje slaba odpornost proti jedkanju v plazmi, ki vsebuje fluor, materiali delov stroja za jedkanje, ki se pogosto uporabljajo za določen čas, bodo resni pojav korozije, kar resno zmanjša njegovo proizvodno učinkovitost.

Sstari SiC fokusni obročNačelo delovanja：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

Primerjava obroča za fokusiranje na osnovi Si in obroča za fokusiranje CVD SiC:

Primerjava obroča za fokusiranje na osnovi Si in obroča za fokusiranje CVD SiC
Postavka	in	CVD SiC
Gostota (g/cm³)	2.33	3.21
Pasovna vrzel (eV)	1.12	2.3
Toplotna prevodnost (W/cm℃)	1.5	5
CTE (x10^-6/℃)	2.6	4
Modul elastičnosti (GPa)	150	440
Trdota (GPa)	11.4	24.5
Odpornost proti obrabi in koroziji	Ubogi	Odlično

VeTek Semiconductor ponuja napredne dele iz trdnega silicijevega karbida (CVD silicijev karbid), kot so fokusni obroči SiC za polprevodniško opremo. Naši fokusni obroči iz trdnega silicijevega karbida prekašajo tradicionalni silicij v smislu mehanske trdnosti, kemične odpornosti, toplotne prevodnosti, vzdržljivosti pri visokih temperaturah in odpornosti proti ionskemu jedkanju.

Ključne značilnosti naših obročev za fokusiranje SiC vključujejo:

Visoka gostota za manjše stopnje jedkanja.

Odlična izolacija z visoko pasovno režo.

Visoka toplotna prevodnost in nizek koeficient toplotnega raztezanja.

Vrhunska odpornost na mehanske udarce in elastičnost.

Visoka trdota, odpornost proti obrabi in odpornost proti koroziji.

Proizvedeno z uporabos plazmo izboljšano kemično naparjevanje (PECVD)tehnike, naši fokusni obroči iz SiC izpolnjujejo vse večje zahteve postopkov jedkanja v proizvodnji polprevodnikov. Zasnovani so tako, da prenesejo večjo moč in energijo plazme, zlasti vkapacitivno sklopljena plazma (CCP)sistemi.

Fokusni obroči VeTek Semiconductor SiC zagotavljajo izjemno zmogljivost in zanesljivost pri izdelavi polprevodniških naprav. Izberite naše komponente SiC za vrhunsko kakovost in učinkovitost.

View as

<1 2 >

Kot profesionalni Trden silicijev karbid proizvajalec in dobavitelj na Kitajskem imamo lastno tovarno. Ne glede na to, ali potrebujete prilagojene storitve za izpolnjevanje posebnih potreb vaše regije ali želite kupiti napredno in vzdržljivo Trden silicijev karbid, izdelano na Kitajskem, nam lahko pustite sporočilo.