Fokusni obroč za jedkanje iz trdnega SiC

Lahko ste prepričani, da boste v naši tovarni kupili fokusni obroč za jedkanje iz trdnega SiC. Revolucionarna tehnologija podjetja VeTek Semiconductor omogoča izdelavo fokusirnega obroča za jedkanje iz trdnega SiC, materiala iz silicijevega karbida ultra visoke čistosti, ustvarjenega s postopkom kemičnega naparjevanja.

Fokusni obroč za jedkanje iz trdnega SiC se uporablja v postopkih izdelave polprevodnikov, zlasti v sistemih za plazemsko jedkanje. Fokusni obroč SiC je ključna komponenta, ki pomaga doseči natančno in nadzorovano jedkanje rezin iz silicijevega karbida (SiC).

Med postopkom plazemskega jedkanja ima fokusni obroč več vlog, in sicer:

● Fokusiranje plazme: Fokusni obroč za jedkanje iz trdnega SiC pomaga oblikovati in koncentrirati plazmo okoli rezine, kar zagotavlja, da postopek jedkanja poteka enakomerno in učinkovito. Pomaga omejiti plazmo na želeno območje, s čimer prepreči nenamerno jedkanje ali poškodbe okoliških regij.

●  Zaščita sten komore: Fokusni obroč deluje kot pregrada med plazmo in stenami komore ter preprečuje neposreden stik in morebitno poškodbo. SiC je zelo odporen na plazemsko erozijo in zagotavlja odlično zaščito za stene komore.

●  Tnadzor temperature: Sic focus ring pomaga ohranjati enakomerno porazdelitev temperature po rezini med postopkom jedkanja. Pomaga pri odvajanju toplote in preprečuje lokalno pregrevanje ali toplotne gradiente, ki bi lahko vplivali na rezultate jedkanja.

Trden SiC je izbran za obroče za fokusiranje zaradi svoje izjemne toplotne in kemične stabilnosti, visoke mehanske trdnosti in odpornosti na plazemsko erozijo. Zaradi teh lastnosti je SiC primeren material za težke in zahtevne pogoje znotraj sistemov za plazemsko jedkanje.

Omeniti velja, da se zasnova in specifikacije obročev za fokusiranje lahko razlikujejo glede na specifičen sistem plazemskega jedkanja in zahteve postopka. VeTek Semiconductor optimizira obliko, dimenzije in površinske značilnosti obročev za fokusiranje, da zagotovi optimalno učinkovitost jedkanja in dolgo življenjsko dobo. Trden SiC se pogosto uporablja za nosilce rezin, suceptorje, lažne rezine, vodilne obroče, dele za proces jedkanja, CVD proces itd.