Aluminijeva keramična vakuumska vpenjalna glava

Alumina Ceramic Vacuum Chuck je držalo za rezine za epitaksialne postopke pri obdelavi polprevodnikov. Je ključno orodje za stabilizacijo rezin in zagotavljanje enakomerne rasti epitaksialnih plasti. Široko se uporablja v epitaksialni opremi, kot je nprMOCVDinLPCVD.

Keramična vakuumska vpenjalna glava VeTek Semiconductor Alumina ima ključno vlogo v fazah redčenja in brušenja rezin pri proizvodnji polprevodnikov. Te stopnje vključujejo natančno zmanjšanje debelinesubstrat za rezineza izboljšanje odvajanja toplote čipa, kar je bistveno za izboljšanje učinkovitosti in življenjske dobe polprevodniških naprav.

Združljivo z več velikostmi rezin: Keramična vakuumska vpenjalna glava VeTek Semiconductor Alumina je zasnovana tako, da podpira širok razpon velikosti rezin, vključno z 2, 3, 4, 5, 6, 8 in 12 palci. Zaradi te prilagodljivosti je primeren za različna okolja proizvodnje polprevodnikov, kar zagotavlja dosledno in zanesljivo delovanje pri različnih velikostih rezin.

Vrhunska sestava materiala: Osnova keramične vakuumske vpenjalne glave iz aluminijevega oksida je izdelana iz izjemno čistega 99,9999 % aluminijevega oksida (Al₂O₃), ki ponuja odlično odpornost na kemične napade in toplotno stabilnost. Površina vpenjalne glave je poroznasilicijev karbid (SiC). Porozni keramični material ima gosto in enakomerno strukturo, kar izboljša njegovo vzdržljivost in učinkovitost.

PrednostiTehnologija porozne keramike：

Čistost materiala in vzdržljivost: Naša keramična vakuumska vpenjalna glava, izdelana iz 99,99 % čistega aluminijevega oksida, je odporna na kemične napade in nudi odlično toplotno stabilnost, zaradi česar je idealna za izjemno zahtevna proizvodna okolja.

Optimalna poroznost in zračna prepustnost: Enakomerno porazdeljene mikropore zagotavljajo odlično zračno prepustnost in enakomerno adsorpcijsko silo, kar ima za posledico gladko in dosledno delovanje.

Izboljšana ploskost in vzporednost: Keramične vakuumske vpenjalne glave iz mikroporoznega aluminijevega oksida imajo odlično ravnost in vzporednost, kar zagotavlja natančno rokovanje z rezinami in stabilnost.

Prilagojene storitvene zmogljivosti: VeTekSemi lahko zagotovi različne oblike, ki jih je mogoče prilagoditi, vključno z okroglimi, kvadratnimi, obročastimi in drugimi oblikami, z debelino od 3 mm do 10 mm. Ta prilagoditev zagotavlja, da naše vakuumske vpenjalne glave iz aluminijevega oksida izpolnjujejo posebne potrebe različnih proizvodnih procesov polprevodnikov in so zagotovo vaša idealna izbira.

VeTek Semiconductorje zavezan zagotavljanju napredne tehnologije in proizvodnih rešitev za industrijo polprevodnikov in iskreno upamo, da bomo vaš dolgoročni partner na Kitajskem.

TheKemijska formula zaaluminijeva keramika：

VeTek SemiconductorTrgovine z vakuumskimi vpenjalnimi napravami iz aluminijevega oksida: