Končni efektor za obdelavo rezin

Končni efektor za ravnanje z rezinami je vrsta robotske roke, zasnovane posebej za industrijo polprevodnikov, ki se običajno uporablja za ravnanje in prenosnapolitanke. Proizvodno okolje rezin zahteva izjemno visoko čistočo, saj lahko drobni delci ali onesnaževalci povzročijo okvaro čipov med obdelavo. Keramični materiali se pogosto uporabljajo pri izdelavi teh rok zaradi svojih odličnih fizikalnih in kemičnih lastnosti.

V primerjavi s tradicionalnimi kovinskimi materiali so prednostikeramikav materialih se odražajo predvsem v naslednjih vidikih:

    •Odpornost proti koroziji: Plošče so med proizvodnim procesom izpostavljene različnim kemikalijam, keramični materiali pa so lahko učinkovito odporni proti koroziji in zagotavljajo dolgotrajno uporabo opreme.

    •Nizko sproščanje delcev: Ker ima keramika izredno nizko sproščanje delcev, bo med postopkom ravnanja komaj proizvajala delce, s čimer se zmanjša tveganje kontaminacije rezine.

    •Dobra odpornost na visoke temperature: V nekaterih procesih je treba z rezinami ravnati v visokotemperaturnem okolju in visoka temperaturna odpornost robota za ravnanje z rezinami iz keramičnih materialov jim omogoča, da se prilagodijo tem težkim okoljem.

    •Električna izolacija: Keramika je naravni električni izolator, kar je bistveno za procese obdelave, ki vključujejo tok, in lahko prepreči, da bi statična elektrika vplivala na rezine.

Konvencionalna oprema za ravnanje z rezinami je izdelana iz aluminija, VetekSemi čoln za ravnanje z rezinami iz SiC ima veliko prednosti. SiC je znan po svoji odlični mehanski trdnosti, vrhunski toplotni stabilnosti in odpornosti proti koroziji. Zaradi teh lastnosti je idealen material za robotsko roko za ravnanje z rezinami, kjer so čistoča, natančnost in zanesljivost kritične.

Z nenehnim razvojem polprevodniške tehnologije se je velikost rezin postopoma povečevala, kar je postavilo višje zahteve za načrtovanje in izdelavo končnega efektorja za ravnanje z rezinami. V prihodnosti se bodo z izboljšanjem tehnologije avtomatizacije natančnost, hitrost in zanesljivost končnega efektorja za ravnanje z rezinami še naprej izboljševale.

Kot ena od osrednjih naprav v proizvodnji polprevodnikov zavzemajo roboti za ravnanje z rezinami pomemben položaj v tovarnah polprevodnikov zaradi svoje visoke čistosti, odpornosti proti koroziji in visoke temperaturne stabilnosti. VeTek Semiconductor lahko strankam zagotovi prilagojene izdelke končnega efektorja za ravnanje z rezinami ter predprodajne in poprodajne storitve ter se veseli vašega posveta.

VeTekSemKončni efektor za ravnanje z rezinami: