CVD TaC Coating Crucible

TaC premaz Rotation Susceptor ima ključno vlogo pri visokotemperaturnih postopkih nanašanja, kot sta CVD in MBE, in je pomembna komponenta za obdelavo rezin v proizvodnji polprevodnikov. Med njimi,TaC premazima odlično odpornost na visoke temperature, odpornost proti koroziji in kemično stabilnost, kar zagotavlja visoko natančnost in visoko kakovost med obdelavo rezin.

CVD TaC Coating Crucible je običajno sestavljen iz TaC Coating ingrafitsubstrat. Med njimi je TaC keramični material z visokim tališčem s tališčem do 3880 °C. Ima izjemno visoko trdoto (trdota po Vickersu do 2000 HV), odpornost proti kemični koroziji in močno odpornost proti oksidaciji. Zato je prevleka TaC odličen material, odporen na visoke temperature, v tehnologiji obdelave polprevodnikov.

Grafitna podlaga ima dobro toplotno prevodnost (toplotna prevodnost je približno 21 W/m·K) in odlično mehansko stabilnost. Ta lastnost določa, da postane grafit idealen premazsubstrat.

CVD TaC Coating Crucible se uporablja predvsem v naslednjih tehnologijah obdelave polprevodnikov:

Izdelava rezin: VeTek Semiconductor CVD TaC Coating Crucible ima odlično odpornost na visoke temperature (tališče do 3880 °C) in odpornost proti koroziji, zato se pogosto uporablja v ključnih postopkih izdelave rezin, kot sta visokotemperaturno naparjevanje (CVD) in epitaksialna rast. V kombinaciji z odlično strukturno stabilnostjo izdelka v okoljih z ultra visokimi temperaturami zagotavlja, da lahko oprema dolgo časa stabilno deluje v izjemno težkih pogojih, s čimer se učinkovito izboljša proizvodna učinkovitost in kakovost rezin.

Epitaksialni proces rasti: Pri epitaksialnih procesih, kot nprkemično naparjevanje (CVD)in epitaksije z molekularnim žarkom (MBE), CVD TaC Coating Crucible igra ključno vlogo pri prenašanju. Njegova prevleka TaC lahko ne samo ohranja visoko čistost materiala pri ekstremni temperaturi in jedki atmosferi, ampak tudi učinkovito preprečuje kontaminacijo reaktantov na materialu in korozijo reaktorja, kar zagotavlja natančnost proizvodnega procesa in konsistenco izdelka.

VeTek Semiconductor kot vodilni kitajski proizvajalec in vodilni proizvajalec CVD TaC Coating Crucible lahko zagotovi prilagojene izdelke in tehnične storitve v skladu z vašo opremo in zahtevami procesa. Iskreno upamo, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.

Prevleka tantalovega karbida (TaC) na mikroskopskem prerezu：

Fizikalne lastnosti TaC prevleke：

VeTek Semiconductor CVD TaC Coating Crucible trgovine: