VeTek Semiconductor je obsežen obroč s prevleko iz TaC za proizvajalec in inovator epitaksialnih reaktorjev SiC na Kitajskem. Že vrsto let smo specializirani za prevleko iz TaC. Naši izdelki imajo visoko čistost, visoko stabilnost, odlično odpornost proti koroziji in visoko trdnost vezi. veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
VeTek Semiconductor je priznano podjetje s sedežem na Kitajskem, znano po svojem strokovnem znanju pri izdelavi visokokakovostnih prevlek TaC in SiC, kot tudi obročev s prevleko iz TaC visoke čistosti za SiC epitaksialni reaktor. Ponosni smo na to, da ponujamo vrhunske izdelke po konkurenčnih cenah. Toplo vas vabimo, da se obrnete na nas in odkrijete izjemne rešitve, ki jih nudimo.
Naši obroči s prevleko iz TaC za epitaksialne reaktorje SiC igrajo ključno vlogo. Ti obroči so sestavni del našega polmesečnega kompleta in ponujajo bistvene funkcije, kot so podpora za podlago, natančen nadzor temperature, učinkovita toplotna izolacija, učinkovito prezračevanje in zanesljiva zaščita. Z usklajenim delovanjem ti obroči zagotavljajo natančen nadzor nad debelino, dopiranjem in značilnostmi napak epitaksialne plasti SiC, ki nastane v reakcijski komori.
Poleg naših izjemnih obročev, prevlečenih s TaC, VeTek Semiconductor ponuja obsežen nabor sorodnih izdelkov, posebej zasnovanih za reakcijske komore. Naša linija izdelkov vključuje zgornje in spodnje polmesece, zaščitne pokrove, izolacijske pokrove in vmesnike za preusmeritev procesnega zraka. Vsaka od teh komponent je podvržena natančnemu premazu SiC ali TaC za izboljšanje delovanja in podaljšanje njihove življenjske dobe.
Fizikalne lastnosti TaC prevleke | |
Gostota | 14,3 (g/cm³) |
Specifična emisijska sposobnost | 0.3 |
Koeficient toplotnega raztezanja | 6.3 10-6/K |
Trdota (HK) | 2000 HK |
Odpornost | 1×10-5 Ohm*cm |
Toplotna stabilnost | <2500 ℃ |
Spremembe velikosti grafita | -10~-20um |
Debelina nanosa | Tipična vrednost ≥20um (35um±10um) |