VeTek Semiconductor je obsežen polmesečni del s prevleko iz tantalovega karbida za proizvajalca in inovatorja LPE na Kitajskem. Že vrsto let smo specializirani za prevleko TaC. Naši izdelki lahko prenesejo temperature nad 2000 stopinj Celzija, podaljšujejo življenjsko dobo potrošnega materiala. Veselimo se postati vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Kot profesionalni proizvajalec bi vam VeTek Semiconductor želel zagotoviti visokokakovosten polmesečni del s prevleko iz tantalovega karbida za LPE.
VeTek Semiconductor je strokovni vodja Kitajske SiC, TaC premaz, proizvajalec trdnega SiC z visoko kakovostjo in razumno ceno. Naš polmesečni del s prevleko iz tantalovega karbida za LPE se uporablja v reakcijski komori opreme za vodoravno in navpično epitaksijo za prenašanje substrata, nadzor temperature, toploto ohranjanje, prezračevanje, zaščita in druge funkcije, tako da skupaj nadzorujejo debelino, doping, napake in druge značilnosti materiala rasti SiC epitaksijske plasti znotraj reakcijske komore.
VeTek Semiconductor sorodni izdelki: zgornji polmesec, spodnji polmesec, zaščitni pokrov, izolacijski pokrov, vmesnik za preusmeritev procesnega zraka. Naše podjetje je zavezano k zagotavljanju kupcem celotnega nabora rešitev komponent, prevlečenih s SiC in TaC, za reakcijske komore.
Fizikalne lastnosti TaC prevleke | |
Gostota | 14,3 (g/cm³) |
Specifična emisijska sposobnost | 0.3 |
Koeficient toplotnega raztezanja | 6.3 10-6/K |
Trdota (HK) | 2000 HK |
Odpornost | 1×10-5 Ohm*cm |
Toplotna stabilnost | <2500 ℃ |
Spremembe velikosti grafita | -10~-20um |
Debelina nanosa | Tipična vrednost ≥20um (35um±10um) |