Planetarni SiC epitaksialni suceptor s prevleko CVD TaC

Planetarni reaktor Aixtron je eden najnaprednejšihMOCVD oprema. Postala je učna predloga za mnoge proizvajalce reaktorjev. Temelji na principu vodoravnega reaktorja z laminarnim tokom, zagotavlja jasen prehod med različnimi materiali in ima neprimerljiv nadzor nad hitrostjo nanašanja v območju ene same atomske plasti, ki se nanaša na vrtečo se rezino pod posebnimi pogoji. 

Najbolj kritičen med njimi je mehanizem večkratne rotacije: reaktor sprejme večkratno rotacijo planetarnega SiC epitaksialnega susceptorja s prevleko CVD TaC. To vrtenje omogoča, da je rezina med reakcijo enakomerno izpostavljena reakcijskemu plinu, s čimer se zagotovi, da ima material, nanesen na rezino, odlično enakomernost v debelini plasti, sestavi in ​​dopingu.

Keramika TaC je visoko zmogljiv material z visokim tališčem (3880 °C), odlično toplotno prevodnostjo, električno prevodnostjo, visoko trdoto in drugimi odličnimi lastnostmi, najpomembnejši sta odpornost proti koroziji in odpornost proti oksidaciji. Za pogoje epitaksialne rasti SiC in nitridnih polprevodniških materialov skupine III ima TaC odlično kemijsko vztrajnost. Zato ima CVD TaC prevleka planetarni SiC epitaksialni suceptor, pripravljen z metodo CVD, očitne prednosti priSiC epitaksialna rastpostopek.

SEM slika prereza grafita, prevlečenega s TaC

● Visoka temperaturna odpornost: SiC epitaksialna rastna temperatura je tako visoka kot 1500 ℃ - 1700 ℃ ali celo več. Tališče TaC je približno 4000 ℃. PoTaC prevlekase nanese na grafitno površino,grafitnih delovlahko ohrani dobro stabilnost pri visokih temperaturah, vzdrži visoke temperaturne pogoje epitaksialne rasti SiC in zagotovi nemoten napredek procesa epitaksialne rasti.

●  Izboljšana odpornost proti koroziji:Prevleka TaC ima dobro kemično stabilnost, učinkovito izolira te kemične pline pred stikom z grafitom, preprečuje korozijo grafita in podaljšuje življenjsko dobo grafitnih delov.

●  Izboljšana toplotna prevodnost: Prevleka TaC lahko izboljša toplotno prevodnost grafita, tako da se lahko toplota bolj enakomerno porazdeli po površini grafitnih delov, kar zagotavlja stabilno temperaturno okolje za SiC epitaksialno rast. To pomaga izboljšati enakomernost rasti epitaksialne plasti SiC.

●  Zmanjšajte onesnaženje z nečistočami:Prevleka TaC ne reagira s SiC in lahko služi kot učinkovita ovira za preprečevanje difuzije elementov nečistoč v grafitnih delih v epitaksialno plast SiC, s čimer se izboljšata čistost in učinkovitost epitaksialne rezine SiC.

VeTek Semiconductor je sposoben in dober pri izdelavi CVD TaC prevleke planetarnega SiC epitaksialnega suceptorja in lahko strankam zagotovi zelo prilagojene izdelke. veselimo se vašega povpraševanja.

Fizikalne lastnostiPrevleka iz tantalovega karbida 

VeTek Semiconductor proizvodne trgovine