CVD TAC premaz

VeTek Semiconductor je vodilni proizvajalec, inovator in vodja CVD TAC Coating na Kitajskem. Že vrsto let se osredotočamo na različne izdelke za prevleke CVD TAC, kot so pokrov za prevleko CVD TaC, obroč za prevleko CVD TaC, nosilec prevleke CVD TaC itd. VeTek Semiconductor podpira prilagojene storitve izdelkov in zadovoljive cene izdelkov ter se veseli vašega nadaljnjega posvetovanje.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

CVD TaC prevleka (prevleka s kemičnim naparjevanjem tantalovega karbida) je premazni izdelek, ki je v glavnem sestavljen iz tantalovega karbida (TaC). Prevleka TaC ima izjemno visoko trdoto, odpornost proti obrabi in odpornost na visoke temperature, zaradi česar je idealna izbira za zaščito ključnih komponent opreme in izboljšanje zanesljivosti procesa. Je nepogrešljiv material pri obdelavi polprevodnikov.

Izdelki CVD TaC Coating se običajno uporabljajo v reakcijskih komorah, nosilcih rezin in opremi za jedkanje in v njih igrajo naslednje ključne vloge.

Prevleka CVD TaC se pogosto uporablja za notranje komponente reakcijskih komor, kot so substrati, stenske plošče in grelni elementi. V kombinaciji z odlično odpornostjo na visoke temperature se lahko učinkovito upre eroziji visokih temperatur, korozivnih plinov in plazme, s čimer učinkovito podaljša življenjsko dobo opreme in zagotovi stabilnost procesa in čistost proizvodnje izdelka.

Poleg tega imajo nosilci rezin, prevlečeni s TaC (kot so kremenčevi čolni, napeljave itd.), tudi odlično toplotno odpornost in odpornost proti kemični koroziji. Nosilec rezin lahko zagotovi zanesljivo podporo za rezine pri visokih temperaturah, prepreči kontaminacijo in deformacijo rezin ter tako izboljša skupni izkoristek čipov.

Poleg tega se prevleka VeTek Semiconductor TaC pogosto uporablja tudi v različni opremi za jedkanje in nanašanje tankih filmov, kot so plazemski jedkalci, sistemi za nanašanje s kemično paro itd. V teh procesnih sistemih lahko prevleka CVD TAC prenese visokoenergijsko ionsko bombardiranje in močne kemične reakcije , s čimer zagotavljamo natančnost in ponovljivost postopka.

Ne glede na vaše posebne zahteve bomo poiskali najboljšo rešitev za vaše potrebe po premazu CVD TAC in se veselimo vašega posveta kadar koli.

Osnovne fizikalne lastnosti CVD TAC premaza:

Fizikalne lastnosti TaC prevleke
Gostota	14,3 (g/cm³)
Specifična emisijska sposobnost	0.3
Koeficient toplotnega raztezanja	6.3 10-6/K
Trdota (HK)	2000 HK
Odpornost	1×10-5 Ohm*cm
Toplotna stabilnost	<2500 ℃
Spremembe velikosti grafita	-10~-20um
Debelina nanosa	Tipična vrednost ≥20um (35um±10um)