EPI prejemnik

VeTek Semiconductor EPI suceptor je zasnovan za uporabo v zahtevni epitaksialni opremi. Njegova grafitna struktura, prevlečena s silicijevim karbidom (SiC) visoke čistosti, nudi odlično toplotno odpornost, enakomerno toplotno enotnost za dosledno debelino in odpornost epitaksialne plasti ter dolgotrajno kemično odpornost. Veselimo se sodelovanja z vami.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

VeTek Semiconductor je vodilni strokovni proizvajalec EPI sprejemnikov, ALD planetarnih sprejemnikov in TaC prevlečenih grafitnih sprejemnikov na Kitajskem. in naš suceptor EPI je pomembna komponentaepitaksialna rastV procesu izdelave polprevodnikov. Njegova glavna funkcija je podpora in segrevanje rezine, tako da se na površini rezine lahko enakomerno razvije visokokakovosten epitaksialni sloj.

EPI-sprejemniki VeTek Semiconductors so običajno izdelani iz grafita visoke čistosti in prevlečeni s plastjo silicijevega karbida (SiC).Ta oblika ima naslednje ključne prednosti:

● Visoka temperaturna stabilnost: EPI suceptor lahko ostane stabilen v okolju z visoko temperaturo, kar zagotavlja enakomerno rast epitaksialne plasti.

● Odpornost proti koroziji: Prevleka SiC ima odlično odpornost proti koroziji in se lahko upre eroziji kemičnih plinov, kar podaljša življenjsko dobo pladnja.

● Toplotna prevodnost: Visoka toplotna prevodnost materiala SiC zagotavlja enakomerno porazdelitev temperature rezine med segrevanjem, s čimer se izboljša kakovost epitaksialne plasti.

● Ujemanje koeficienta toplotnega raztezanja: Koeficient toplotnega raztezanja SiC je podoben koeficientu grafita, s čimer se izognemo problemu luščenja prevleke zaradi toplotnega raztezanja in krčenja.