EPI prejemnik

VeTek Semiconductor EPI suceptor je zasnovan za uporabo v zahtevni epitaksialni opremi. Njegova grafitna struktura, prevlečena s silicijevim karbidom (SiC) visoke čistosti, nudi odlično toplotno odpornost, enakomerno toplotno enotnost za dosledno debelino in odpornost epitaksialne plasti ter dolgotrajno kemično odpornost. Veselimo se sodelovanja z vami.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

VeTek Semiconductor je vodilni strokovni proizvajalec sprejemnikov EPI, planetarnih sprejemnikov ALD in grafitnih sprejemnikov s prevleko TaC na Kitajskem.

EPI prejemnik podjetja VeTek Semiconductor je pomemben sestavni del epitaksialne rasti v procesu izdelave polprevodnikov. Njegova glavna funkcija je podpora in segrevanje rezine, tako da se na površini rezine lahko enakomerno razvije visokokakovosten epitaksialni sloj.

EPI-sprejemniki VeTek Semiconductors so običajno izdelani iz grafita visoke čistosti in prevlečeni s plastjo silicijevega karbida (SiC). Ta oblika ima naslednje ključne prednosti:

Visoka temperaturna stabilnost: EPI suceptor lahko ostane stabilen v okolju z visoko temperaturo, kar zagotavlja enakomerno rast epitaksialne plasti.

Odpornost proti koroziji: Prevleka SiC ima odlično odpornost proti koroziji in se lahko upre eroziji kemičnih plinov, kar podaljša življenjsko dobo pladnja.

Toplotna prevodnost: Visoka toplotna prevodnost materiala SiC zagotavlja enakomerno porazdelitev temperature rezine med segrevanjem, s čimer se izboljša kakovost epitaksialne plasti.

Ujemanje koeficienta toplotnega raztezanja: Koeficient toplotnega raztezanja SiC je podoben koeficientu grafita, s čimer se izognemo problemu luščenja prevleke zaradi toplotnega raztezanja in krčenja.

Osnovne fizikalne lastnostiEPI prejemnik: