Kaj je CVD TAC premaz?

Kot vsi vemo,TaCima tališče do 3880°C, visoko mehansko trdnost, trdoto, odpornost na toplotni udar; dobra kemična inertnost in toplotna stabilnost na amoniak, vodik, hlape, ki vsebujejo silicij, pri visokih temperaturah.

CVD TAC premaz, kemično naparjevanje (CVD).prevleko iz tantalovega karbida (TaC)., je postopek za oblikovanje visoko gostote in obstojne prevleke na podlagi (običajno grafit). Ta metoda vključuje nanašanje TaC na površino substrata pri visokih temperaturah, kar ima za posledico premaz z odlično toplotno stabilnostjo in kemično odpornostjo.

Glavne prednosti CVD TaC prevlek vključujejo:

Izjemno visoka toplotna stabilnost: lahko prenese temperature nad 2200°C.

Kemična odpornost: lahko se učinkovito upira ostrim kemikalijam, kot so vodik, amoniak in silicijeve pare.

Močan oprijem: zagotavlja dolgotrajno zaščito brez razslojevanja.

Visoka čistost: zmanjšuje nečistoče, zaradi česar je idealen za uporabo v polprevodnikih.

Ti premazi so posebej primerni za okolja, ki zahtevajo visoko vzdržljivost in odpornost na ekstremne pogoje, kot so proizvodnja polprevodnikov in visokotemperaturni industrijski procesi.

V industrijski proizvodnji bodo grafitni (ogljik-ogljik kompozitni) materiali, prevlečeni s prevleko TaC, zelo verjetno nadomestili tradicionalni grafit visoke čistosti, prevleko iz pBN, dele prevleke iz SiC itd. Poleg tega ima TaC na področju vesoljske industrije velik potencial za se uporablja kot visokotemperaturni antioksidacijski in antiablacijski premaz in ima široke možnosti uporabe. Vendar pa je še vedno veliko izzivov, kako doseči pripravo gostega, enakomernega, neluščičnega TaC premaza na površini grafita in spodbujati industrijsko množično proizvodnjo.

V tem procesu so raziskovanje zaščitnega mehanizma prevleke, inoviranje proizvodnega procesa in tekmovanje z najvišjo tujo ravnjo ključnega pomena za rast in epitaksijo polprevodniških kristalov tretje generacije.