TaC Coating Susceptor

VeTek Semiconductor predstavlja TaC Coating Susceptor. S svojo izjemno TaC prevleko ta suceptor ponuja številne prednosti, ki ga ločujejo od običajnih rešitev. TaC Coating Susceptor brezhibno integrira v obstoječe sisteme in zagotavlja združljivost in učinkovito delovanje. Njegovo zanesljivo delovanje in visokokakovostna prevleka TaC dosledno zagotavljata izjemne rezultate v postopkih epitaksije SiC. Zavezani smo zagotavljanju kakovostnih izdelkov po konkurenčnih cenah in se veselimo, da bomo vaš dolgoročni partner na Kitajskem.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

VeTek Semiconductor's TaC prevlečeni suceptor in obroč delujeta skupaj v epitaksialnem rastnem reaktorju iz silicijevega karbida LPE:

Odpornost na visoke temperature: TaC premazni suceptor ima odlično odpornost na visoke temperature, ki lahko prenese ekstremne temperature do 1500 °C v reaktorju LPE. To zagotavlja, da se oprema in komponente med dolgotrajnim delovanjem ne deformirajo ali poškodujejo.

Kemijska stabilnost: Suceptor za prevleko TaC deluje izjemno dobro v jedkem rastnem okolju silicijevega karbida, učinkovito ščiti komponente reaktorja pred jedkimi kemičnimi napadi in tako podaljša njihovo življenjsko dobo.

Toplotna stabilnost: TaC premazni suceptor ima dobro toplotno stabilnost, ohranja površinsko morfologijo in hrapavost, da se zagotovi enakomernost temperaturnega polja v reaktorju, kar je koristno za visokokakovostno rast epitaksialnih plasti silicijevega karbida.

Proti kontaminaciji: gladka površina, prevlečena s TaC, in vrhunska zmogljivost TPD (temperaturno programirana desorpcija) lahko zmanjšata kopičenje in adsorpcijo delcev in nečistoč v reaktorju ter preprečita kontaminacijo epitaksialnih plasti.

Če povzamemo, sprejemnik in obroč, prevlečen s TaC, igrata ključno zaščitno vlogo v LPE epitaksialnem rastnem reaktorju iz silicijevega karbida, saj zagotavljata dolgoročno stabilno delovanje opreme in visokokakovostno rast epitaksialnih plasti.

Parameter izdelka TaC Coating Susceptor:

Fizikalne lastnosti TaC prevleke
Gostota	14,3 (g/cm³)
Specifična emisijska sposobnost	0.3
Koeficient toplotnega raztezanja	6.3 10-6/K
Trdota (HK)	2000 HK
Odpornost	1×10-5 Ohm*cm
Toplotna stabilnost	<2500 ℃
Spremembe velikosti grafita	-10~-20um
Debelina nanosa	Tipična vrednost ≥20um (35um±10um)