CVD TaC Coating Wafer Carrier
  • CVD TaC Coating Wafer CarrierCVD TaC Coating Wafer Carrier

CVD TaC Coating Wafer Carrier

VeTek Semiconductor CVD TaC Coating Wafer Carrier je profesionalni proizvajalec in tovarna izdelkov za nosilce rezin s prevleko CVD TaC na Kitajskem, orodje za prenašanje rezin, posebej zasnovano za visokotemperaturna in jedka okolja v proizvodnji polprevodnikov. in CVD TaC Coating Wafer Carrier ima visoko mehansko trdnost, odlično odpornost proti koroziji in toplotno stabilnost, kar zagotavlja potrebno garancijo za proizvodnjo visokokakovostnih polprevodniških naprav. Vaša dodatna vprašanja so dobrodošla.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Med postopkom izdelave polprevodnikov VeTek Semiconductor'sCVD TaC Coating Wafer Carrierje pladenj, ki se uporablja za prenašanje oblatov. Ta izdelek uporablja postopek kemičnega naparjevanja (CVD) za prevleko plasti TaC premaza na površinoSubstrat za nosilec rezin. Ta prevleka lahko znatno izboljša odpornost nosilca rezin proti oksidaciji in koroziji, hkrati pa zmanjša kontaminacijo z delci med obdelavo. Je pomembna komponenta pri obdelavi polprevodnikov.


VeTek Semiconductor'sCVD TaC Coating Wafer Carrierje sestavljen iz substrata in aprevleko iz tantalovega karbida (TaC)..


Debelina prevlek iz tantalovega karbida je običajno v območju 30 mikronov, TaC pa ima tališče do 3880 °C, hkrati pa med drugimi lastnostmi zagotavlja odlično odpornost proti koroziji in obrabi.


Osnovni material nosilca je izdelan iz grafita visoke čistosti ozsilicijev karbid (SiC), nato pa se s postopkom CVD na površino nanese plast TaC (trdota po Knoopu do 2000 HK), da se izboljša odpornost proti koroziji in mehanska trdnost.


VeTek Semiconductor's CVD TaC Coating Wafer Carrier običajnoigra naslednje vloge med postopkom prenašanja rezin:


● Polnjenje in fiksiranje rezin: Knoopova trdota tantalovega karbida je kar 2000 HK, kar lahko učinkovito zagotovi stabilno podporo rezine v reakcijski komori. V kombinaciji z dobro toplotno prevodnostjo TaC (toplotna prevodnost je približno 21 W/mK) lahko naredi površino rezine enakomerno segreto in ohranja enakomerno porazdelitev temperature, kar pomaga doseči enakomerno rast epitaksialne plasti.


●  Zmanjšajte onesnaženje z delci: Gladka površina in visoka trdota prevlek CVD TaC pomagata zmanjšati trenje med nosilcem in rezino, s čimer se zmanjša tveganje kontaminacije z delci, ki je ključnega pomena za proizvodnjo visokokakovostnih polprevodniških naprav.


●  Visokotemperaturna stabilnost: Med obdelavo polprevodnikov so dejanske delovne temperature običajno med 1200 °C in 1600 °C, prevleke iz TaC pa imajo tališče do 3880 °C. V kombinaciji z nizkim koeficientom toplotnega raztezanja (koeficient toplotnega raztezanja je približno 6,3 × 10⁻⁶/°C) lahko nosilec ohrani svojo mehansko trdnost in dimenzijsko stabilnost v pogojih visoke temperature, kar preprečuje pokanje rezine ali deformacijo zaradi napetosti med obdelavo.


Prevleka tantalovega karbida (TaC) na mikroskopskem prerezu:


Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section 1Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section 2Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section 3Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section 4



Osnovne fizikalne lastnosti CVD TaC prevleke


Fizikalne lastnosti TaC prevleke
TaC premaz Gostota
14,3 (g/cm³)
Specifična emisijska sposobnost
0.3
Koeficient toplotnega raztezanja
6,3*10-6/K
Trdota prevleke TaC (HK)
2000 HK
Odpornost
1×10-5Ohm*cm
Toplotna stabilnost
<2500 ℃
Spremembe velikosti grafita
-10~-20um
Debelina nanosa
Tipična vrednost ≥20um (35um±10um)

VeTek SemiconductorCVD TaC Coating Wafer Carrier proizvodne delavnice:


Graphite epitaxial substrateSemiconductor EquipmentGraphite ring assemblySemiconductor process equipment



Hot Tags: CVD TaC Coating Wafer Carrier, Kitajska, proizvajalec, dobavitelj, tovarna, prilagojeno, nakup, napredno, vzdržljivo, izdelano na Kitajskem
Povezana kategorija
Pošlji povpraševanje
Prosimo, oddajte svoje povpraševanje v spodnjem obrazcu. Odgovorili vam bomo v 24 urah.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept