Oksidacijske in difuzijske peči se uporabljajo na različnih področjih, kot so polprevodniške naprave, diskretne naprave, optoelektronske naprave, močnostne elektronske naprave, sončne celice in obsežna proizvodnja integriranih vezij. Uporabljajo se za postopke, vključno z difuzijo, oksidacijo, žarjenjem, legiranjem in sintranjem rezin.
VeTek Semiconductor je vodilni proizvajalec, specializiran za proizvodnjo komponent grafita, silicijevega karbida in kremena visoke čistosti v oksidacijskih in difuzijskih pečeh. Zavezani smo k zagotavljanju visokokakovostnih komponent peči za polprevodniško in fotovoltaično industrijo ter smo v ospredju tehnologije površinskih premazov, kot so CVD-SiC, CVD-TaC, pirokarbon itd.
Odpornost na visoke temperature (do 1600 ℃)
Odlična toplotna prevodnost in toplotna stabilnost
Dobra kemična odpornost proti koroziji
Nizek koeficient toplotnega raztezanja
Visoka trdnost in trdota
Dolga življenjska doba
V oksidacijskih in difuzijskih pečeh zaradi prisotnosti visokotemperaturnih in jedkih plinov veliko komponent zahteva uporabo materialov, odpornih na visoke temperature in korozijo, med katerimi je silicijev karbid (SiC) pogosto uporabljena izbira. Spodaj so pogoste komponente silicijevega karbida, ki jih najdemo v oksidacijskih in difuzijskih pečeh:
Čoln napolitanke
Čoln za rezine iz silicijevega karbida je posoda za prevoz silicijevih rezin, ki lahko prenesejo visoke temperature in ne reagirajo s silicijevimi rezinami.
Pečna cev
Cev peči je osrednja komponenta difuzijske peči, ki se uporablja za namestitev silicijevih rezin in nadzor reakcijskega okolja. Cevi za peči iz silicijevega karbida imajo odlično odpornost na visoke temperature in korozijo.
Odbojna plošča
Uporablja se za uravnavanje pretoka zraka in porazdelitve temperature v peči
Zaščitna cev termočlena
Uporablja se za zaščito termoelementov za merjenje temperature pred neposrednim stikom z jedkimi plini.
Konzolno veslo
Konzolne lopatice iz silicijevega karbida so odporne na visoke temperature in korozijo ter se uporabljajo za transport silicijevih čolnov ali kremenčevih čolnov, ki prenašajo silicijeve rezine v cevi difuzijske peči.
Plinski injektor
Uporablja se za dovajanje reakcijskega plina v peč, zato mora biti odporen na visoke temperature in korozijo.
Nosilec čolnov
Nosilec za rezine iz silicijevega karbida se uporablja za pritrditev in podporo silicijevih rezin, ki imajo prednosti, kot so visoka trdnost, odpornost proti koroziji in dobra strukturna stabilnost.
Vrata peči
Prevleke ali komponente iz silicijevega karbida se lahko uporabljajo tudi na notranji strani vrat peči.
Grelni element
Grelni elementi iz silicijevega karbida so primerni za visoke temperature, visoko moč in lahko hitro dvignejo temperaturo na več kot 1000 ℃.
SiC obloga
Uporablja se za zaščito notranje stene cevi peči, pomaga zmanjšati izgubo toplotne energije in vzdrži težka okolja, kot sta visoka temperatura in visok tlak.
VeTek Semiconductor's SiC Cantilever Paddle je zelo zmogljiv izdelek. Naše SiC konzolno veslo se običajno uporablja v pečeh za toplotno obdelavo za ravnanje s silicijevimi rezinami in njihovo podporo, kemično naparjevanje (CVD) in druge procese obdelave v proizvodnih procesih polprevodnikov. Visoka temperaturna stabilnost in visoka toplotna prevodnost materiala SiC zagotavljata visoko učinkovitost in zanesljivost v procesu obdelave polprevodnikov. Zavezani smo zagotavljanju visokokakovostnih izdelkov po konkurenčnih cenah in veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanjeVeTek Semiconductor je profesionalni proizvajalec in dobavitelj na Kitajskem za čoln za rezine iz silicijevega karbida za horizontalno peč, z dolgoletnimi izkušnjami na področju raziskav in razvoja ter proizvodnje, lahko dobro nadzoruje kakovost in ponuja konkurenčno ceno. Lahko ste prepričani, da boste pri nas kupili čoln za rezine iz silicijevega karbida za horizontalno peč.
Preberi večPošlji povpraševanjeVeTek Semiconductor je profesionalni proizvajalec in dobavitelj na Kitajskem za čoln s silicijevim karbidom, prevlečenim s silicijevim karbidom, z dolgoletnimi izkušnjami na področju raziskav in razvoja ter proizvodnje, lahko dobro nadzoruje kakovost in ponuja konkurenčno ceno. Dobrodošli za obisk naše tovarne in nadaljnjo razpravo o sodelovanju.
Preberi večPošlji povpraševanjeVeTek Semiconductor's Silicon Carbide Cantilever Paddle je pomembna komponenta v procesu izdelave polprevodnikov, še posebej primerna za difuzijske peči ali peči LPCVD pri visokotemperaturnih procesih, kot sta difuzija in RTP. Naše konzolno veslo iz silicijevega karbida je skrbno zasnovano in izdelano z odlično odpornostjo na visoke temperature in mehansko trdnostjo ter lahko varno in zanesljivo transportira rezine v procesno cev v težkih procesnih pogojih za različne visokotemperaturne procese, kot sta difuzija in RTP. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanjeVeTek Semiconductor High Pure Silicon Carbide Wafer Carrier so pomembne komponente pri obdelavi polprevodnikov, zasnovane za varno držanje in transport občutljivih silicijevih rezin, ki igrajo ključno vlogo v vseh fazah izdelave. VeTek Semiconductor's High Pure Silicon Carbide Wafer Carrier je skrbno zasnovan in izdelan, da zagotovi odlično delovanje in zanesljivost. VeTek Semiconductor je zavezan zagotavljanju kakovostnih izdelkov po konkurenčnih cenah in veselimo se, da bomo vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanjeVeTek Semiconductor's high-purity Silicon Carbide Wafer Boat je izdelan iz izjemno čistega materiala silicijevega karbida z odlično toplotno stabilnostjo, mehansko trdnostjo in kemično odpornostjo. Čoln za rezine iz silicijevega karbida visoke čistosti se uporablja v aplikacijah v vročem območju pri proizvodnji polprevodnikov, zlasti v okoljih z visoko temperaturo, in ima pomembno vlogo pri zaščiti rezin, transportu materialov in vzdrževanju stabilnih procesov. VeTek Semiconductor si bo še naprej trdo prizadeval za inovacije in izboljšanje delovanja čolna iz silicijevega karbida visoke čistosti, da bi zadovoljil razvijajoče se potrebe proizvodnje polprevodnikov. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanje