Porozni tantalov karbid

VeTek polprevodniški porozni tantalov karbid (TaC) je visoko zmogljiv keramični material, ki združuje lastnosti tantala in ogljika. Njegova porozna struktura je zelo primerna za posebne aplikacije pri visokih temperaturah in ekstremnih okoljih. TaC združuje odlično trdoto, toplotno stabilnost in kemično odpornost, zaradi česar je idealna izbira materiala pri obdelavi polprevodnikov.

Porozni tantalov karbid (TaC) je sestavljen iz tantala (Ta) in ogljika (C), v katerem tantal tvori močno kemično vez z ogljikovimi atomi, kar daje materialu izjemno visoko vzdržljivost in odpornost proti obrabi. Porozna struktura Porous TaC se ustvari med proizvodnim procesom materiala, poroznost pa je mogoče nadzorovati glede na specifične potrebe uporabe. Ta izdelek običajno proizvajakemično naparjevanje (CVD)metoda, ki zagotavlja natančen nadzor njegove velikosti in porazdelitve.

Molekulska struktura tantalovega karbida

VeTek polprevodniški porozni tantalov karbid (TaC) ima naslednje lastnosti izdelka:

- Poroznost: porozna struktura mu daje različne funkcije v posebnih scenarijih uporabe, vključno z difuzijo plina, filtracijo ali nadzorovanim odvajanjem toplote.

- Visoko tališče: Tantalov karbid ima izjemno visoko tališče okoli 3.880 °C, kar je primerno za okolja z izjemno visoko temperaturo.

- Odlična trdota: Porozni TaC ima izjemno visoko trdoto okoli 9-10 po Mohsovi lestvici trdote, podobno kot diamant. in je odporen na mehansko obrabo v ekstremnih pogojih.

- Toplotna stabilnost: Tantalov karbid (TaC) lahko ostane stabilen v visokotemperaturnih okoljih in ima močno toplotno stabilnost, kar zagotavlja dosledno delovanje v visokotemperaturnih okoljih.

- Visoka toplotna prevodnost: Kljub svoji poroznosti porozni tantalov karbid še vedno ohranja dobro toplotno prevodnost, kar zagotavlja učinkovit prenos toplote.

- Nizek koeficient toplotnega raztezanja: nizek koeficient toplotnega raztezanja tantalovega karbida (TaC) pomaga materialu ostati dimenzijsko stabilen pri znatnih temperaturnih nihanjih in zmanjša vpliv toplotne obremenitve.

Fizikalne lastnosti TaC prevleke：

V proizvodnji polprevodnikov igra porozni tantalov karbid (TaC) naslednjo specifično ključno vlogos:

Pri visokotemperaturnih procesih, kot je nprplazemsko jedkanjein CVD, VeTek polprevodnik Porozni tantalov karbid se pogosto uporablja kot zaščitni premaz za procesno opremo. To je posledica močne odpornosti proti korozijiTaC premazin njegova visokotemperaturna stabilnost. Te lastnosti zagotavljajo, da učinkovito ščiti površine, ki so izpostavljene reaktivnim plinom ali ekstremnim temperaturam, s čimer zagotavlja normalno reakcijo visokotemperaturnih procesov.

Pri difuzijskih procesih lahko porozni tantalov karbid služi kot učinkovita difuzijska pregrada za preprečevanje mešanja materialov pri visokotemperaturnih procesih. Ta funkcija se pogosto uporablja za nadzor difuzije dopantov v postopkih, kot sta ionska implantacija in kontrola čistosti polprevodniških rezin.

Porozna struktura polprevodniškega poroznega tantalovega karbida VeTek je zelo primerna za okolja obdelave polprevodnikov, ki zahtevajo natančno kontrolo pretoka plina ali filtracijo. V tem procesu porozni TaC igra predvsem vlogo filtracije in distribucije plina. Njegova kemična inertnost zagotavlja, da se med postopkom filtracije ne vnesejo onesnaževalci. To dejansko zagotavlja čistost predelanega izdelka.

Prevleka tantalovega karbida (TaC) na mikroskopskem prerezu: