VeTek Semiconductor je vaš inovativni partner na področju obdelave polprevodnikov. Z našim obsežnim portfeljem kombinacij materialov Silicon Carbide Ceramics za polprevodnike, zmogljivostmi izdelave komponent in storitvami inženiringa aplikacij vam lahko pomagamo premagati velike izzive. Inženirska tehnična keramika iz silicijevega karbida se pogosto uporablja v industriji polprevodnikov zaradi izjemne učinkovitosti materiala. Izjemno čista silicijeva karbidna keramika VeTek Semiconductor se pogosto uporablja v celotnem ciklu proizvodnje in obdelave polprevodnikov.
VeTek Semiconductor zagotavlja inženirske keramične komponente, posebej zasnovane za serijsko difuzijo in zahteve LPCVD, vključno z:
• Pregrade in držala
• Injektorji
• Obloge in procesne cevi
• Konzolne lopatice iz silicijevega karbida
• Ladjice in podstavki iz oblatov
SiC konzolno veslo SiC procesne cevi Procesna cev iz silicijevega karbida SiC navpični čoln za rezine SiC vodoravni čoln za rezine SiC vodoravni kvadratni čoln za rezine SiC LPCVD ladja za rezine SiC vodoravni čoln SiC okrogel čoln za rezine
Zmanjšajte kontaminacijo in nenačrtovano vzdrževanje s komponentami visoke čistosti, izdelanimi za zahtevno obdelavo s plazemskim jedkanjem, vključno z:
Fokusni obroči
Šobe
Ščitniki
Tuš glave
Okna / pokrovi
Druge komponente po meri
VeTek Semiconductor zagotavlja napredne materialne komponente, prilagojene za uporabo pri visokotemperaturni toplotni obdelavi v industriji polprevodnikov. Te aplikacije zajemajo postopke RTP, Epi, difuzijo, oksidacijo in žarjenje. Naša tehnična keramika je zasnovana tako, da prenese toplotne udarce, kar zagotavlja zanesljivo in dosledno delovanje. S komponentami VeTek Semiconductor lahko proizvajalci polprevodnikov dosežejo učinkovito in visokokakovostno termično obdelavo, kar prispeva k splošnemu uspehu proizvodnje polprevodnikov.
• Difuzorji
• Izolatorji
• Susceptorji
• Druge toplotne komponente po meri
Fizikalne lastnosti prekristaliziranega silicijevega karbida | |
Lastnina | Tipična vrednost |
Delovna temperatura (°C) | 1600°C (s kisikom), 1700°C (redukcijsko okolje) |
Vsebnost SiC / SiC | > 99,96 % |
Vsebnost silicija/prostega silicija | < 0,1 % |
Nasipna gostota | 2,60-2,70 g/cm3 |
Navidezna poroznost | < 16 % |
Trdnost stiskanja | > 600 MPa |
Hladna upogibna trdnost | 80-90 MPa (20 °C) |
Trdnost pri vročem upogibanju | 90-100 MPa (1400 °C) |
Toplotna ekspanzija pri 1500°C | 4,70 10-6/°C |
Toplotna prevodnost @1200°C | 23 W/m•K |
Modul elastičnosti | 240 GPa |
Odpornost na toplotni udar | Izjemno dobro |
VeTek Semiconductor zagotavlja visoko zmogljive SiC procesne cevi za proizvodnjo polprevodnikov. Naše SiC Process Tubes se odlikujejo po postopkih oksidacije in difuzije. Z vrhunsko kakovostjo in izdelavo te cevi nudijo stabilnost pri visokih temperaturah in toplotno prevodnost za učinkovito obdelavo polprevodnikov. Ponujamo konkurenčne cene in želimo biti vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanjeVeTek Semiconductor's SiC Cantilever Paddle je zelo zmogljiv izdelek. Naše SiC konzolno veslo se običajno uporablja v pečeh za toplotno obdelavo za ravnanje s silicijevimi rezinami in njihovo podporo, kemično naparjevanje (CVD) in druge procese obdelave v proizvodnih procesih polprevodnikov. Visoka temperaturna stabilnost in visoka toplotna prevodnost materiala SiC zagotavljata visoko učinkovitost in zanesljivost v procesu obdelave polprevodnikov. Zavezani smo zagotavljanju visokokakovostnih izdelkov po konkurenčnih cenah in veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanjeVeTek Semiconductor je profesionalni proizvajalec in dobavitelj na Kitajskem za čoln za rezine iz silicijevega karbida za horizontalno peč, z dolgoletnimi izkušnjami na področju raziskav in razvoja ter proizvodnje, lahko dobro nadzoruje kakovost in ponuja konkurenčno ceno. Lahko ste prepričani, da boste pri nas kupili čoln za rezine iz silicijevega karbida za horizontalno peč.
Preberi večPošlji povpraševanjeVeTek Semiconductor je profesionalni proizvajalec in dobavitelj na Kitajskem za čoln s silicijevim karbidom, prevlečenim s silicijevim karbidom, z dolgoletnimi izkušnjami na področju raziskav in razvoja ter proizvodnje, lahko dobro nadzoruje kakovost in ponuja konkurenčno ceno. Dobrodošli za obisk naše tovarne in nadaljnjo razpravo o sodelovanju.
Preberi večPošlji povpraševanjeVeTek Semiconductor's Silicon Carbide Cantilever Paddle je pomembna komponenta v procesu izdelave polprevodnikov, še posebej primerna za difuzijske peči ali peči LPCVD pri visokotemperaturnih procesih, kot sta difuzija in RTP. Naše konzolno veslo iz silicijevega karbida je skrbno zasnovano in izdelano z odlično odpornostjo na visoke temperature in mehansko trdnostjo ter lahko varno in zanesljivo transportira rezine v procesno cev v težkih procesnih pogojih za različne visokotemperaturne procese, kot sta difuzija in RTP. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanjeVeTek Semiconductor High Pure Silicon Carbide Wafer Carrier so pomembne komponente pri obdelavi polprevodnikov, zasnovane za varno držanje in transport občutljivih silicijevih rezin, ki igrajo ključno vlogo v vseh fazah izdelave. VeTek Semiconductor's High Pure Silicon Carbide Wafer Carrier je skrbno zasnovan in izdelan, da zagotovi odlično delovanje in zanesljivost. VeTek Semiconductor je zavezan zagotavljanju kakovostnih izdelkov po konkurenčnih cenah in veselimo se, da bomo vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanje