VeTek Semiconductor je vaš inovativni partner na področju obdelave polprevodnikov. Z našim obsežnim portfeljem kombinacij materialov Silicon Carbide Ceramics za polprevodnike, zmogljivostmi izdelave komponent in storitvami inženiringa aplikacij vam lahko pomagamo premagati velike izzive. Inženirska tehnična keramika iz silicijevega karbida se pogosto uporablja v industriji polprevodnikov zaradi izjemne učinkovitosti materiala. Izjemno čista silicijeva karbidna keramika VeTek Semiconductor se pogosto uporablja v celotnem ciklu proizvodnje in obdelave polprevodnikov.
VeTek Semiconductor zagotavlja inženirske keramične komponente, posebej zasnovane za serijsko difuzijo in zahteve LPCVD, vključno z:
• Pregrade in držala
• Injektorji
• Obloge in procesne cevi
• Konzolne lopatice iz silicijevega karbida
• Ladjice in podstavki iz oblatov
SiC konzolno veslo SiC procesne cevi Procesna cev iz silicijevega karbida SiC navpični čoln za rezine SiC vodoravni čoln za rezine SiC vodoravni kvadratni čoln za rezine SiC LPCVD ladja za rezine SiC vodoravni čoln SiC okrogel čoln za rezine
Zmanjšajte kontaminacijo in nenačrtovano vzdrževanje s komponentami visoke čistosti, izdelanimi za zahtevno obdelavo s plazemskim jedkanjem, vključno z:
Fokusni obroči
Šobe
Ščitniki
Tuš glave
Okna / pokrovi
Druge komponente po meri
VeTek Semiconductor zagotavlja napredne materialne komponente, prilagojene za uporabo pri visokotemperaturni toplotni obdelavi v industriji polprevodnikov. Te aplikacije zajemajo postopke RTP, Epi, difuzijo, oksidacijo in žarjenje. Naša tehnična keramika je zasnovana tako, da prenese toplotne udarce, kar zagotavlja zanesljivo in dosledno delovanje. S komponentami VeTek Semiconductor lahko proizvajalci polprevodnikov dosežejo učinkovito in visokokakovostno termično obdelavo, kar prispeva k splošnemu uspehu proizvodnje polprevodnikov.
• Difuzorji
• Izolatorji
• Susceptorji
• Druge toplotne komponente po meri
Fizikalne lastnosti prekristaliziranega silicijevega karbida | |
Lastnina | Tipična vrednost |
Delovna temperatura (°C) | 1600°C (s kisikom), 1700°C (redukcijsko okolje) |
Vsebnost SiC / SiC | > 99,96 % |
Vsebnost silicija/prostega silicija | < 0,1 % |
Nasipna gostota | 2,60-2,70 g/cm3 |
Navidezna poroznost | < 16 % |
Trdnost stiskanja | > 600 MPa |
Hladna upogibna trdnost | 80-90 MPa (20 °C) |
Trdnost pri vročem upogibanju | 90-100 MPa (1400 °C) |
Toplotna ekspanzija pri 1500°C | 4,70 10-6/°C |
Toplotna prevodnost @1200°C | 23 W/m•K |
Modul elastičnosti | 240 GPa |
Odpornost na toplotni udar | Izjemno dobro |
VeTek Semiconductor's high-purity Silicon Carbide Wafer Boat je izdelan iz izjemno čistega materiala silicijevega karbida z odlično toplotno stabilnostjo, mehansko trdnostjo in kemično odpornostjo. Čoln za rezine iz silicijevega karbida visoke čistosti se uporablja v aplikacijah v vročem območju pri proizvodnji polprevodnikov, zlasti v okoljih z visoko temperaturo, in ima pomembno vlogo pri zaščiti rezin, transportu materialov in vzdrževanju stabilnih procesov. VeTek Semiconductor si bo še naprej trdo prizadeval za inovacije in izboljšanje delovanja čolna iz silicijevega karbida visoke čistosti, da bi zadovoljil razvijajoče se potrebe proizvodnje polprevodnikov. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanjeVeTek Semiconductor je profesionalni proizvajalec in dobavitelj, namenjen zagotavljanju visokokakovostnega ultra čistega silicijevega karbida v prahu za rast kristalov. S čistostjo do 99,999 mas. % in izjemno nizkimi stopnjami nečistoč dušika, bora, aluminija in drugih onesnaževalcev je posebej zasnovan za izboljšanje polizolacijskih lastnosti silicijevega karbida visoke čistosti. Vabljeni k povpraševanju in sodelovanju z nami!
Preberi večPošlji povpraševanje