VeTek Semiconductor je vaš inovativni partner na področju obdelave polprevodnikov. Z našim obsežnim portfeljem kombinacij materialov Silicon Carbide Ceramics za polprevodnike, zmogljivostmi izdelave komponent in storitvami inženiringa aplikacij vam lahko pomagamo premagati velike izzive. Inženirska tehnična keramika iz silicijevega karbida se pogosto uporablja v industriji polprevodnikov zaradi izjemne učinkovitosti materiala. Izjemno čista silicijeva karbidna keramika VeTek Semiconductor se pogosto uporablja v celotnem ciklu proizvodnje in obdelave polprevodnikov.
VeTek Semiconductor zagotavlja inženirske keramične komponente, posebej zasnovane za serijsko difuzijo in zahteve LPCVD, vključno z:
• Pregrade in držala
• Injektorji
• Obloge in procesne cevi
• Konzolne lopatice iz silicijevega karbida
• Ladjice in podstavki iz oblatov
SiC konzolno veslo SiC procesne cevi Procesna cev iz silicijevega karbida SiC navpični čoln za rezine SiC vodoravni čoln za rezine SiC vodoravni kvadratni čoln za rezine SiC LPCVD ladja za rezine SiC vodoravni čoln SiC okrogel čoln za rezine
Zmanjšajte kontaminacijo in nenačrtovano vzdrževanje s komponentami visoke čistosti, izdelanimi za zahtevno obdelavo s plazemskim jedkanjem, vključno z:
Fokusni obroči
Šobe
Ščitniki
Tuš glave
Okna / pokrovi
Druge komponente po meri
VeTek Semiconductor zagotavlja napredne materialne komponente, prilagojene za uporabo pri visokotemperaturni toplotni obdelavi v industriji polprevodnikov. Te aplikacije zajemajo postopke RTP, Epi, difuzijo, oksidacijo in žarjenje. Naša tehnična keramika je zasnovana tako, da prenese toplotne udarce, kar zagotavlja zanesljivo in dosledno delovanje. S komponentami VeTek Semiconductor lahko proizvajalci polprevodnikov dosežejo učinkovito in visokokakovostno termično obdelavo, kar prispeva k splošnemu uspehu proizvodnje polprevodnikov.
• Difuzorji
• Izolatorji
• Susceptorji
• Druge toplotne komponente po meri
Fizikalne lastnosti prekristaliziranega silicijevega karbida | |
Lastnina | Tipična vrednost |
Delovna temperatura (°C) | 1600°C (s kisikom), 1700°C (redukcijsko okolje) |
Vsebnost SiC / SiC | > 99,96 % |
Vsebnost silicija/prostega silicija | < 0,1 % |
Nasipna gostota | 2,60-2,70 g/cm3 |
Navidezna poroznost | < 16 % |
Trdnost stiskanja | > 600 MPa |
Hladna upogibna trdnost | 80-90 MPa (20 °C) |
Trdnost pri vročem upogibanju | 90-100 MPa (1400 °C) |
Toplotna ekspanzija pri 1500°C | 4,70 10-6/°C |
Toplotna prevodnost @1200°C | 23 W/m•K |
Modul elastičnosti | 240 GPa |
Odpornost na toplotni udar | Izjemno dobro |
VeTek Semiconductor je vodilni proizvajalec in inovator SiC Cantilever Paddle visoke čistosti na Kitajskem. Konzolne lopatice SiC visoke čistosti se običajno uporabljajo v difuzijskih pečeh za polprevodnike kot ploščadi za prenos rezin ali nakladalne ploščadi. VeTek Semiconductor je zavezan zagotavljanju napredne tehnologije in proizvodnih rešitev za industrijo polprevodnikov. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanjeKot profesionalni proizvajalec in dobavitelj Vertical Column Wafer Boat & Pedestal na Kitajskem je Vetek Semiconductor Vertical Column Wafer Boat & Pedestal izdelan iz kremenčevih ali silicijevih karbonskih keramičnih (SiC) materialov visoke čistosti z odlično odpornostjo na visoke temperature, kemično stabilnostjo in mehansko trdnostjo. , in je nepogrešljiva osrednja komponenta v procesu izdelave polprevodnikov. Vabljeni k nadaljnjemu posvetovanju.
Preberi večPošlji povpraševanjeVetek Semiconductor Contiguous Wafer Boat je napredna oprema za obdelavo polprevodnikov. Struktura izdelka Contiguous Wafer Boat je skrbno zasnovana za zagotavljanje učinkovite obdelave in proizvodnje natančnih rezin. Vetek Semiconductor je zavezan zagotavljanju odlične tehnologije in proizvodnih rešitev za industrijo polprevodnikov. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanjeVeTek Semiconductor je profesionalni kitajski proizvajalec Silicon On Insulator Wafer, ALD Planetary Base in TaC Coated Graphite Base. VeTek Semiconductor's Silicon On Insulator Wafer je pomemben material za polprevodniško podlago in ima zaradi svojih odličnih lastnosti izdelka ključno vlogo pri visokozmogljivih, nizkoenergijskih, visokointegracijskih in RF aplikacijah. Veselimo se nadaljnjega sodelovanja z vami.
Preberi večPošlji povpraševanjeVeTek Semiconductor je profesionalni proizvajalec in dobavitelj vodilnega obroča s prevleko iz TaC, vodoravnega nosilca rezin iz SiC in suceptorjev s prevleko iz SiC na Kitajskem. Zavezani smo zagotavljanju popolne tehnične podpore in vrhunskih rešitev izdelkov za industrijo polprevodnikov. Vabljeni, da nas kontaktirate.
Preberi večPošlji povpraševanjeVeTek Semiconductor's SiC Wafer Boat je zelo zmogljiv izdelek. Naš SiC Wafer Boat se običajno uporablja v polprevodniških oksidacijskih difuzijskih pečeh, da se zagotovi enakomerna porazdelitev temperature na rezini in izboljša kakovost obdelave silicijeve rezine. Visoka temperaturna stabilnost in visoka toplotna prevodnost materialov SiC zagotavljata učinkovito in zanesljivo obdelavo polprevodnikov. Zavezani smo zagotavljanju kakovostnih izdelkov po konkurenčnih cenah in veselimo se, da bomo vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanje