Vpenjalna glava iz silicijevega karbida

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Wafer Chuck uporablja odlične lastnosti materialov iz silicijevega karbida za izpolnjevanje strogih zahtev proizvodnje polprevodnikov, zlasti pri obdelavi polprevodnikov, ki zahteva izjemno visoko natančnost in zanesljivost.

V procesu obdelave polprevodnikov,Silicijev karbidima odlično odpornost na visoke temperature (lahko deluje stabilno pri do 1400 °C), nizko prevodnost (SiC ima relativno nizko prevodnost, običajno 10^^-3S/m) in nizek koeficient toplotnega raztezanja (približno 4,0 × 10^^-6/°C), ki je nepogrešljiv in pomemben material, še posebej primeren za izdelavo vpenjalne glave iz silicijevega karbida.

Medproces epitaksialne rasti, se na substrat nanese tanka plast polprevodniškega materiala, ki od rezine zahteva absolutno stabilnost, da se zagotovijo enotne in visokokakovostne plasti nanosa filma. Vakuumska vpenjalna glava SiC to doseže z ustvarjanjem trdnega, doslednega vakuumskega držala, ki preprečuje premikanje ali deformacijo rezine.

Vpenjalna glava iz silicijevega karbida ponuja tudi odlično odpornost na toplotne šoke. Hitre temperaturne spremembe so običajne pri proizvodnji polprevodnikov in materiali, ki teh nihanj ne prenesejo, lahko počijo, se upognejo ali odpovejo. Silicijev karbid ima nizek koeficient toplotnega raztezanja in lahko ohrani svojo obliko in delovanje tudi pri drastičnih temperaturnih spremembah, kar zagotavlja, da rezina med postopkom epitaksije ostane varna brez premikanja ali neusklajenosti.

Poleg tega jepostopek epitaksijepogosto vključuje reaktivne pline in druge jedke kemikalije. Kemična inertnost vpenjalne glave SiC Wafer Chuck zagotavlja, da nanjo ne vplivajo težka okolja, ohranja njeno delovanje in podaljšuje življenjsko dobo. Ta kemična vzdržljivost ne le zmanjša pogostost zamenjave vpenjalne glave, ampak tudi zagotavlja dosledno delovanje izdelka v več proizvodnih ciklih, kar pomaga izboljšati splošno učinkovitost in stroškovno učinkovitost postopka izdelave polprevodnikov.

VeTek Semiconductor je vodilni proizvajalec in dobavitelj izdelkov iz silicijevega karbida Wafer Chuck na Kitajskem. Nudimo lahko različne vrste izdelkov Chuck, kot je nprPorozna SiC keramična vpenjalna glava, Vakuumska vpenjalna glava iz poroznega SiC, Vakuumska vpenjalna glava iz porozne keramikeinTaC prevlečena vpenjalna glava, itd. VeTek Semiconductor je zavezan zagotavljanju napredne tehnologije in proizvodnih rešitev za industrijo polprevodnikov. Iskreno upamo, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.

PODATKI SEM OD KVBKRISTALNA STRUKTURA SIC FILMA：

Trgovine s polprevodniškimi vpenjali iz silicijevega karbida VeTek：