Vpenjalna glava, prevlečena s tantalovim karbidom

VeTek Semiconductor je vodilni proizvajalec in inovator vpenjal, prevlečenih s tantalovim karbidom, na Kitajskem. Že vrsto let smo specializirani za prevleko TaC. Naši izdelki imajo visoko čistost in visoko temperaturno odpornost do 2000 ℃. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

VeTek Semiconductor dobavlja visokokakovostne vpenjalne glave s prevleko iz tantalovega karbida, dele s prevleko iz SiC po konkurenčni ceni. Dobrodošli pri povpraševanju po nas. Vpenjalna glava VeTek Semiconductor s prevleko iz tantalovega karbida, posebej zasnovana za sistem AIXTRON G10 MOCVD. Ta dodatek izboljšuje učinkovitost in kakovost pri proizvodnji polprevodnikov ter zagotavlja izjemno zmogljivost in zanesljivost.

Vpenjalna glava, izdelana iz visokokakovostnih materialov in izdelana z natančnostjo, ima grafitno podlago, prevlečeno s CVD tantalovim karbidom (TaC). Ta premaz zagotavlja odlično termično stabilnost, visoko čistost in odpornost na visoke temperature. Zagotavlja zanesljivo delovanje v zahtevnih pogojih procesov MOCVD.

Vpenjalno glavo je mogoče prilagoditi za različne velikosti polprevodniških rezin, zaradi česar je primerna za različne proizvodne zahteve. Njegova robustna konstrukcija zmanjša čas izpadov in stroške vzdrževanja, povezane z nosilci rezin in sprejemniki.

Z VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coated Chuck sistem AIXTRON G10 MOCVD dosega večjo učinkovitost in vrhunske rezultate pri proizvodnji polprevodnikov. Zaradi njegove izjemne toplotne stabilnosti, združljivosti z različnimi velikostmi rezin in zanesljivega delovanja je bistveno orodje za optimizacijo učinkovitosti proizvodnje in doseganje izjemnih rezultatov v zahtevnem okolju MOCVD.

Parameter izdelka vpenjalne glave, prevlečene s tantalovim karbidom

Fizikalne lastnosti TaC prevleke
Gostota	14,3 (g/cm³)
Specifična emisijska sposobnost	0.3
Koeficient toplotnega raztezanja	6.3 10-6/K
Trdota (HK)	2000 HK
Odpornost	1×10-5 Ohm*cm
Toplotna stabilnost	<2500 ℃
Spremembe velikosti grafita	-10~-20um
Debelina nanosa	Tipična vrednost ≥20um (35um±10um)

Delovanje rezin po uporabi naših komponent:

VeTek Semiconductor Production Shop

Pregled industrijske verige epitaksije polprevodniških čipov:

Hot Tags: Vpenjalna glava s prevleko iz tantalovega karbida, Kitajska, proizvajalec, dobavitelj, tovarna, prilagojeno, nakup, napredno, vzdržljivo, izdelano na Kitajskem

Oznaka izdelka

Povezana kategorija