TaC prevlečen prstan s tremi cvetnimi listi

VeTek Semiconductor je profesionalni kitajski proizvajalec in dobavitelj obroča s tremi cvetnimi listi, prevlečenim s TaC. Obroč s tremi cvetnimi listi, prevlečenim s TaC, se uporablja v sistemu nanašanja Aixtron G10 za sestavljene polprevodnike, G10-GaN 150/200 mm visoko zmogljiva epitaksija za moč GaN in RF aplikacije.

Prevleka VeTek Semiconductor TaC je nova generacija materiala, odpornega na visoke temperature, z boljšo visokotemperaturno stabilnostjo kot SiC, kot prevleka, odporna proti koroziji, prevleka, odporna na oksidacijo, prevleka, odporna na obrabo, se lahko uporablja v okolju nad 2000 ℃, pogosto se uporablja v letalski in vesoljski ultravisokotemperaturni deli vročih koncev, tretja generacija rasti polprevodniških monokristalov in druga področja.

Lastnosti izdelka:

1. Visoka čistost, vsebnost nečistoč < 5 ppm

2. Visoka temperaturna odpornost, odpornost proti koroziji, visoka gostota, visoka gostota

3. Kemično je inerten na amoniak, vodik, silan in silicij pri visoki temperaturi in ima dobro toplotno stabilnost.

4. Odpornost na toplotni udar lahko pospeši cikel delovanja

5. Močan grafitni oprijem zagotavlja dolgo življenjsko dobo in brez razslojevanja premaza.

6. Stroge dimenzijske tolerance.

Glavne aplikacije:

1. Epitaksialna rast

2. Rast monokristala

3. Preusmeritev visokotemperaturne korozije

4. Šoba, odporna na visoke temperature in oksidacijo

5. Lopatice plinske turbine

Parameter izdelka obroča s tremi lističi, prevlečenega s TaC

VeTek Semiconductor Production Shop